[实用新型]光刻机电气伺服对位控制系统

摘要

本实用新型公开了一种光刻机电气伺服对位控制系统，包括连接气源的气动三联件、电气伺服方向流量阀、电气比例节流器、由伺服气缸和液压缸串联而成的气液阻尼缸、支撑工作台的静压气浮导轨、位于工作台上方的CCD图像传感器、光刻机控制器，气动三联件通过两个管道分别连接至电气伺服方向流量阀和静压气浮导轨，电气伺服方向流量阀连接至伺服气缸，电气比例节流器连接至液压缸，液压缸的推杆连接至工作台，光刻机控制器连接电气伺服方向流量阀、电气比例节流器和CCD图像传感器。本实用新型的光刻机电气伺服对位控制系统可提高系统稳态控制精度，实现工作台位置的精确控制。

主权项

一种光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于，包括:气动三联件、电气伺服方向流量阀、电气比例节流器、由伺服气缸和液压缸串联而成的气液阻尼缸、支撑在光刻机的工作台下方的静压气浮导轨、用于检测工作台位置的CCD图像传感器和可实现控制运算并输出控制信号的光刻机控制器，所述气动三联件连接气源，所述的气动三联件通过两个管道分别连接至电气伺服方向流量阀和静压气浮导轨，所述电气伺服方向流量阀连接至伺服气缸，所述电气比例节流器连接至液压缸，所述液压缸的推杆连接至工作台，所述CCD图像传感器位于工作台的上方，所述的电气伺服方向流量阀、电气比例节流器和CCD图像传感器均连接至光刻机控制器。