[实用新型]光刻机电气伺服对位控制系统

说明书

技术领域

本实用新型属于光机电装备领域，尤其涉及一种光刻机电气伺服对位控制系统。

背景技术

平行光光刻机是采用平行光曝光法来实现印刷电路板(PCB)成像的设备，其曝光精度(工作台与底片对位精度)决定PCB产品的线宽和线距精度，因而决定电子产品的电路集成度和大小。

光刻机主要由精密工作台系统、光学系统、环控系统、机架系统、输送系统等组成。影响平行光光刻机对位精度的主要因素是精密工作台的驱动机构及周围环境温度和输送系统的导轨摩擦力的干扰。由于光刻机的平行光系统采用大功率光源，在曝光过程中产生大量的热量，这将引起精密工作台系统和导轨热变形，严重影响光刻机的曝光精度。因此，在环境温度和摩擦力干扰下对光刻机精密工作台位置进行的精确控制，具有重要的工程实际意义。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种光刻机电气伺服对位控制系统，可提高系统稳态控制精度，实现工作台位置的精确控制。

为实现上述目的，本实用新型提供一种光刻机电气伺服对位控制系统，包括气动三联件、电气伺服方向流量阀、电气比例节流器、由伺服气缸和液压缸串联而成的气液阻尼缸、支撑在光刻机的工作台下方的静压气浮导轨、用于检测工作台位置的CCD图像传感器和可实现控制运算并输出控制信号的光刻机控制器，所述气动三联件连接气源，所述的气动三联件通过两个管道分别连接至电气伺服方向流量阀和静压气浮导轨，所述电气伺服方向流量阀连接至伺服气缸，所述电气比例节流器连接至液压缸，所述液压缸的推杆连接至工作台，所述CCD图像传感器位于工作台的上方，所述的电气伺服方向流量阀、电气比例节流器和CCD图像传感器均连接至光刻机控制器。

作为本实用新型的进一步改进，还包括两个第一减压阀，每个所述管道上设有一所述第一减压阀。

作为本实用新型的更进一步改进，所述气动三联件包括依次连接的分水过滤器、第二减压阀和油雾器，所述分水过滤器连接至气源，所述油雾器连接至所述的两个管道。

作为本实用新型的更进一步改进，所述静压气浮导轨内设有节流器，所述静压气浮导轨和气动三联件之间的管道连接至静压气浮导轨的节流器和油雾器。

作为本实用新型的更进一步改进，所述电气伺服方向流量阀是输出流量随输入电流成比例变化的气动阀。

作为本实用新型的更进一步改进，所述电气比例节流器是开口量随输入电流成比例变化的可变液压阻尼器。

作为本实用新型的更进一步改进，所述伺服气缸与电气伺服方向流量阀之间连接有一对进出液循环管道，所述液压缸与电气比例节流器之间连接有一对进出液循环管道。

与现有技术相比，本实用新型的光刻机电气伺服对位控制系统通过采用电气比例节流器精细调节气液阻尼缸的阻力，采用静压气浮导轨消除工作台摩擦力和热变形的影响，采用CCD图像传感器构成位置闭环控制系统，从而提高系统稳态控制精度，实现工作台位置的精确控制；采用第一减压阀和第二减压阀可以进一步保证向电气伺服方向流量阀和静压气浮导轨提供恒定压力的气体，进一步实现工作台位置的精确控制；采用分水过滤器可以过滤掉气体中的水汽、油滴和其他杂质，净化气体，保证执行元件正常工作，采用油雾器可以把润滑剂加入到空气流中，达到润滑的目的，保证执行元件正常工作；采用输出流量随输入电流成比例变化的电气伺服方向流量阀，开口量随输入电流成比例变化的电气比例节流器可以有助于提高系统稳态控制精度，实现工作台位置的精确控制。

通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本实用新型的实施例。

附图说明

图1为本实用新型的光刻机电气伺服对位控制系统的示意图。

图2为本实用新型的光刻机电气伺服对位控制系统的框图。

具体实施方式

现在参考附图描述本实用新型的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。

请参考图1-2，所述的光刻机电气伺服对位控制系统包括气动三联件1、两个第一减压阀2、电气伺服方向流量阀3、电气比例节流器4、气液阻尼缸6、静压气浮导轨7、CCD图像传感器8和光刻机控制器9。

所述气动三联件1包括依次连接的分水过滤器1a、第二减压阀1b和油雾器1c，所述分水过滤器1a连接至气源，所述油雾器1c连接至所述的两个管道10。

所述的两个第一减压阀2分别设于两个管道10上，用于控制油雾器1c的出口压力恒定。

所述电气伺服方向流量阀3是输出流量随输入电流成比例变化的气动阀，所述电气伺服方向流量阀3通过其中一管道10连接至气动三联件1的油雾器1c。