[实用新型]光刻机电气伺服对位控制系统

权利要求书

1.一种光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于，包括:气动三联件、电气伺服方向流量阀、电气比例节流器、由伺服气缸和液压缸串联而成的气液阻尼缸、支撑在光刻机的工作台下方的静压气浮导轨、用于检测工作台位置的CCD图像传感器和可实现控制运算并输出控制信号的光刻机控制器，所述气动三联件连接气源，所述的气动三联件通过两个管道分别连接至电气伺服方向流量阀和静压气浮导轨，所述电气伺服方向流量阀连接至伺服气缸，所述电气比例节流器连接至液压缸，所述液压缸的推杆连接至工作台，所述CCD图像传感器位于工作台的上方，所述的电气伺服方向流量阀、电气比例节流器和CCD图像传感器均连接至光刻机控制器。

2.如权利要求1所述的光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于：还包括两个第一减压阀，每个所述管道上设有一所述第一减压阀。

3.如权利要求2所述的光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于：所述气动三联件包括依次连接的分水过滤器、第二减压阀和油雾器，所述分水过滤器连接至气源，所述油雾器连接至所述的两个管道。

4.如权利要求3所述的光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于：所述静压气浮导轨内设有节流器，所述静压气浮导轨和气动三联件之间的管道连接至静压气浮导轨的节流器和油雾器。

5.如权利要求1至4任一项所述的光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于：所述电气伺服方向流量阀是输出流量随输入电流成比例变化的气动阀。

6.如权利要求1至4任一项所述的光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于：所述电气比例节流器是开口量随输入电流成比例变化的可变液压阻尼器。

7.如权利要求1至4任一项所述的光刻机电气伺服对位控制系统，其特征在于：所述伺服气缸与电气伺服方向流量阀之间连接有一对进出液循环管道，所述液压缸与电气比例节流器之间连接有一对进出液循环管道。