[实用新型]一种半自动硅片抛光机

摘要

本实用新型涉及一种半自动硅片抛光机，该抛光机包括台钻、集浆池、样品架和水箱。台钻的一端设有电机，其另一端设有钻头，其钻床上设有托盘，其台座上设有水箱；钻头上设有升降把手，其末端通过钻头连接杆连有样品架；托盘上设有集浆池，该集浆池的上端设有与钻床连接杆相连的下抛光片；样品架的上方设有上抛光片，该上抛光片的两侧对称设有一组带压紧弹簧的调节螺母；压紧弹簧内套有固定螺杆，并通过该固定螺杆与下抛光片相连；样品架与下抛光片通过磨片架连接在一起；水箱的底部一侧设有进水管，其内设有水泵，该水泵通过出水管Ⅰ与磨片架相连；集浆池的底部设有出水口，该出水口经出水管Ⅱ与水箱相通。本实用新型结构简单、使用方便。

主权项

一种半自动硅片抛光机，其特征在于：该抛光机包括台钻（1）、集浆池（8）、样品架（4）和水箱（14）；所述台钻（1）的一端设有电机，其另一端设有钻头，其钻床上设有托盘，其台座上设有所述水箱（14）；所述钻头上设有升降把手（3），其末端通过钻头连接杆连有所述样品架（4）；所述托盘上设有所述集浆池（8），该集浆池（8）的上端设有与所述钻床连接杆相连的下抛光片（7）；所述样品架（4）的上方设有上抛光片（5），该上抛光片（5）的两侧对称设有一组带压紧弹簧（15）的调节螺母（16）；所述压紧弹簧（15）内套有固定螺杆（6），并通过该固定螺杆（6）与所述下抛光片（7）相连；所述样品架（4）与所述下抛光片（7）通过磨片架连接在一起；所述水箱（14）的底部一侧设有进水管（11），其内设有水泵（10），该水泵（10）通过出水管Ⅰ（9）与所述磨片架相连；所述集浆池（8）的底部设有出水口（12），该出水口（12）经出水管Ⅱ（13）与所述水箱（14）相通。