[实用新型]一种半自动硅片抛光机

说明书

技术领域

本实用新型涉及抛光设备领域，尤其涉及一种半自动硅片抛光机。

背景技术

硅片抛光是指利用机械和化学的作用除去表面机械损伤层，进一步采用化学的方法将其处理成双镜面，以达到检测要求。目前国内外对硅片机械抛光设备的研究和制造已趋于成熟，市售有多种硅片抛光机，工作效率均较高，但均存在结构复杂，价格昂贵，维护费用较高等缺点；据了解有企业采用传统的人工研磨法进行硅片抛光，存在抛光水平难控制，人为影响因素大，效率低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构简单、使用方便的半自动硅片抛光机。

为解决上述问题，本实用新型所述的一种半自动硅片抛光机，其特征在于：该抛光机包括台钻、集浆池、样品架和水箱；所述台钻的一端设有电机，其另一端设有钻头，其钻床上设有托盘，其台座上设有所述水箱；所述钻头上设有升降把手，其末端通过钻头连接杆连有所述样品架；所述托盘上设有所述集浆池，该集浆池的上端设有与所述钻床连接杆相连的下抛光片；所述样品架的上方设有上抛光片，该上抛光片的两侧对称设有一组带压紧弹簧的调节螺母；所述压紧弹簧内套有固定螺杆，并通过该固定螺杆与所述下抛光片相连；所述样品架与所述下抛光片通过磨片架连接在一起；所述水箱的底部一侧设有进水管，其内设有水泵，该水泵通过出水管Ⅰ与所述磨片架相连；所述集浆池的底部设有出水口，该出水口经出水管Ⅱ与所述水箱相通。

所述样品架的中心通过固定螺母与所述上抛光片相连。

所述台钻上设有台钻电机防护罩。

所述下抛光片和所述上抛光片均由不同粒度的不锈钢砂轮组成。

所述上抛光片上包裹有防尘罩。

所述样品架上开有数个交错排列并按硅片的大小设计而成的固定尺寸的圆形样片固定孔。

本实用新型与现有技术相比具有以下优点：

1、本实用新型采用台钻作为动力系统，通过调节固定螺杆上的压紧弹簧压力，从而使硅片表面受力均匀，厚度一致。

2、本实用新型中下抛光片和上抛光片均由不同粒度的不锈钢砂轮组成，因此，使用时，配合相应的抛光膏、抛/研磨粉，逐级抛光可直接将硅片抛成镜面，省去化学抛光的部分。

3、本实用新型中样品架上开有数个交错排列并按硅片的大小设计而成的固定尺寸的圆形样片固定孔，因此，可同时进行多片抛光。

4、本实用新型将传统的人工研磨改为机械抛光，不仅可以提高工作效率，节省生产成本，而且可大大提高硅片的抛光质量。

5、本实用新型结构简单、造价低廉，可有效降低采购资金的投入。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中样品架的结构示意图。

图中：1—台钻     2—台钻电机防护罩    3—升降把手   4—样品架5—上抛光片 6—固定螺杆 7—下抛光片 8—集浆池9—出水管Ⅰ 10—水泵11—进水管   12—出水口   13—出水管Ⅱ   14—水箱   15—压紧弹簧 16—调节螺母。

具体实施方式

如图1、图2所示，一种半自动硅片抛光机，该抛光机包括台钻1、集浆池8、样品架4和水箱14。

台钻1的一端设有电机，其另一端设有钻头，其钻床上设有托盘，其台座上设有水箱14；钻头上设有升降把手3，其末端通过钻头连接杆连有样品架4；托盘上设有集浆池8，该集浆池8的上端设有与钻床连接杆相连的下抛光片7；样品架4的上方设有上抛光片5，该上抛光片5的两侧对称设有一组带压紧弹簧15的调节螺母16；压紧弹簧15内套有固定螺杆6，并通过该固定螺杆6与下抛光片7相连；样品架4与下抛光片7通过磨片架连接在一起；水箱14的底部一侧设有进水管11，其内设有水泵10，该水泵10通过出水管Ⅰ9与磨片架相连；集浆池8的底部设有出水口12，该出水口12经出水管Ⅱ13与水箱14相通。

其中：

样品架4的中心通过固定螺母与上抛光片5相连。

台钻1上设有台钻电机防护罩2。

下抛光片7和上抛光片5均由不同粒度的不锈钢砂轮组成。

上抛光片5上包裹有防尘罩。

样品架4上开有数个交错排列并按硅片的大小设计而成的固定尺寸的圆形样片固定孔。

使用时，先根据硅片直径选择合适的样品架4，通过钻头连接杆固定在钻头上，由钻头带动转动，将待抛光硅片放到样品架4中的圆形样片固定孔内，调整上抛光片5位置，启动台钻1，旋转升降把手3，压下上抛光片5进行抛光；同时，水通过水泵10将水从出水管Ⅰ9引入至磨片架，固定在台钻1托盘上的集浆池8可收集硅片抛光时产生的粉末和水污，沉淀后的水由出水管Ⅱ13导入水箱14。结束后，关闭台钻1，取出硅片。