[实用新型]一种MEMS可调谐光学驱动器

摘要

本实用新型涉及一种MEMS可调谐光学驱动器，包括基片、主变形梁、第一变形梁、第二变形梁、驱动电极、微镜面、散热框架结构、散热折叠梁和外部固定点，第一变形梁和第二变形梁位于主变形梁两端，与驱动电极连接，为主变形梁提供底部变形支撑；散热框架结构与主变形梁连接但与微镜面隔离，折叠梁散热结构与散热框架及外部固定点相连。本实用新型的热驱动结构设计新颖，采用了直拉直压的变形梁设计结构，对主热变形梁进行了支撑，同时避免了传统弯曲梁的不稳定性，并实现更大的驱动位移。同时，采用散热框架及散热折叠梁的设计使得微镜面不会直接与变形梁接触，降低变形梁处的热变化对微镜面的温度相关影响，增加了芯片及光衰减器的器件可靠性。

主权项

一种MEMS可谐调光学驱动器，所述驱动器包括：基片、驱动电极、变形梁、微镜面和散热框架，其中，变形梁的两端与驱动电极相连，所述微镜面位于散热框架中，所述散热框架与变形梁的中间部分受力点相连，其特征在于还包括数量至少为2n的支撑梁，其中n>0，所述支撑梁两两地与驱动电极相连，从而在变形梁和驱动电极之间形成支撑结构。