[实用新型]LED刻蚀机托盘结构

摘要

LED刻蚀机托盘结构，包括托盘和设置在托盘上的数个载片台，载片台上设置有定位凸台，定位凸台内侧即载片台四周设置有密封沟槽；所述载片台上均匀设置有数个冷却氦气分布孔，所述定位凸台上均匀分布有数个避空槽，每个载片台周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔；所述托盘上还设置有两个凸出的定位销，托盘的背面设置有三圈氦气引导槽。本实用新型所述的LED刻蚀机托盘结构具有无需借助摆片工装，也无需操作人员且有专业经验即可实现快速装片的特点。

主权项

LED刻蚀机托盘结构，包括托盘（1）和设置在托盘（1）上的数个载片台（2），其特征在于：载片台（2）上设置有定位凸台（6），定位凸台（6）内侧即载片台（2）四周设置有密封沟槽（3）；所述载片台（2）上均匀设置有数个冷却氦气分布孔（5），所述定位凸台（6）上均匀分布有数个避空槽（7），每个载片台（2）周围还设置有数个盖板锁紧螺丝孔（4）；所述托盘上还设置有两个凸出的定位销（9），托盘（1）的背面设置有三圈氦气引导槽（8）。