[实用新型]一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置有效
| 申请号： | 201420705320.2 | 申请日： | 2014-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN204251764U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘瑜;陈晓玲 | 申请（专利权）人： | 杭州晶一智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置，包括与冷却进水管直接连接的电子流量阀，与所述的电子流量阀并联的电子流量针阀，与冷却出水管串联连接的电子流量计，进行集中控制的PLC控制器，所述的电子流量阀、电子流量针阀、电子流量计与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信；所述的电子流量阀控制精度达到10升/秒，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信；所述的电子流量针阀的最小调节范围为1升/秒，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。利用本专利能在使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统流量变化控制在±1升/秒度以内，减少了水流量波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 蓝宝石 设备 冷却水 流量 自动控制 装置 | ||
【主权项】：
一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置，其特征在于：包括与冷却进水管直接连接的电子流量阀，与所述的电子流量阀并联的电子流量针阀，与冷却出水管串联连接的电子流量计，进行集中控制的PLC控制器，所述的电子流量阀、电子流量针阀、电子流量计与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州晶一智能科技有限公司，未经杭州晶一智能科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420705320.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
