[实用新型]一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置有效
| 申请号： | 201420705320.2 | 申请日： | 2014-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN204251764U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘瑜;陈晓玲 | 申请（专利权）人： | 杭州晶一智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 蓝宝石 设备 冷却水 流量 自动控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置，其特征在于：包括与冷却进水管直接连接的电子流量阀，与所述的电子流量阀并联的电子流量针阀，与冷却出水管串联连接的电子流量计，进行集中控制的PLC控制器，所述的电子流量阀、电子流量针阀、电子流量计与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信。
2.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置，其特征在于：所述的电子流量阀控制精度达到10升/秒，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。
3.根据权利要求1所述的一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水流量自动控制装置，其特征在于：所述的电子流量针阀的最小调节范围为1升/秒，具有数字接口可与所述的PLC控制器进行数字通信。
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