[实用新型]一种薄膜压力传感器有效
| 申请号： | 201420694900.6 | 申请日： | 2014-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN204286669U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 周国方;景涛;龚星;袁云华;章良 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜压力传感器，包括弹性基底，所述弹性基底为由两个竖直部分和连接所述两个竖直部分顶端的水平部分构成的倒U型；所述倒U型上表面覆盖有缓冲层；所述缓冲层上设有绝缘层；所述倒U型水平部分上方的绝缘层上设有多个应变电阻层；所述倒U型竖直部分上方的绝缘层上设有多个测温电阻层；所述应变电阻层和测温电阻层上表面的焊盘区域均设有电极层；所述多个应变电阻层之间的绝缘层上、所述测温电阻层与应变电阻层之间的绝缘层上，以及应变电阻层和测温电阻层的非焊盘区域均设有钝化层。本实用新型解决了现有薄膜压力传感器灵敏度不足，不适合于恶劣环境下应变测量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种薄膜压力传感器，其特征在于，包括弹性基底（1），所述弹性基底（1）为由两个竖直部分和连接所述两个竖直部分顶端的水平部分构成的倒U型；所述倒U型上表面覆盖有缓冲层（2）；所述缓冲层（2）上设有绝缘层（3）；所述倒U型水平部分上方的绝缘层（3）上设有多个应变电阻层（4）；所述倒U型竖直部分上方的绝缘层（3）上设有多个测温电阻层（5）；所述应变电阻层（4）和测温电阻层（5）上表面的焊盘区域均设有电极层（6）；所述多个应变电阻层（4）之间的绝缘层（3）上、所述测温电阻层（5）与应变电阻层（4）之间的绝缘层（3）上，以及应变电阻层（4）和测温电阻层（5）的非焊盘区域均设有钝化层（7）。
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