[实用新型]一种微束X射线荧光谱仪

摘要

本实用新型涉及一种微束X射线荧光谱仪，采用高精度分辨率小于5微米的激光位移传感器探测样品与激光位移传感器的之间的距离，将距离H的信号通过数模转换卡变成数字信号传递给计算机，计算机将信号传递给步进电机控制器，随后步进电机控制器将信号传递给步进电机驱动器，再由步进电机驱动器驱动由4个步进电机电机驱动四维样品台向XYZθ四个方向运动，保持样品被测试点处于毛细管X光透镜的后焦距的位置。

主权项

一种微束X射线荧光谱仪，其特征在于，包括：X射线管(1)，毛细管X光汇聚透镜(2)，样品台(4)，位移传感器(5)，数模转换卡(6)，计算机(7)；所述X射线管(1)位于所述样品台(4)的上方，X射线透过所述毛细管X光汇聚透镜(2)照射到样品台(4)上的样品(3)上，所述样品(3)与所述毛细管X光汇聚透镜(2)之间的距离等于毛细管X光汇聚透镜(2)的后焦距；所述位移传感器(5)位于所述样品(3)的斜上方，其探测点与被测试点为同一点；所述位移传感器(5)与所述计算机(6)电连接，用于探测所述样品(3)与所述位移传感器(5)之间的垂直距离H，并将距离H的信号通过数模转换卡(6)变成数字信号传递给计算机(7)；所述计算机(7)通过控制所述样品台(4)与毛细管X光汇聚透镜(2)之间的距离，保持样品(3)的被测试点处于毛细管X光透镜的后焦距的位置。