[实用新型]一种多晶硅还原炉电极结构

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅还原炉电极结构，包括嵌设在底座内腔的四氟套，下端插设在所述四氟套内的电极体，和穿套在所述电极体周围的绝缘瓷筒，所述绝缘瓷筒部分露出所述底座以上，所述电极体露于所述绝缘瓷筒以上的头部径向成型有外肩，所述绝缘瓷筒露于底座以上的部分外套有绝缘瓷环，所述绝缘瓷环上、下两端分别与所述外肩和底座的配合面上分别设置有密封垫。该多晶硅还原炉电极结构，实现了绝缘瓷筒、四氟套与反应炉腔的有效隔离，消除了清理死角，方便将电极清理干净；另外，避免了反应炉腔内的高温气体对四氟套的影响，有助于延长四氟套的使用寿命。

主权项

 一种多晶硅还原炉电极结构，包括嵌设在底座（7）内腔的四氟套（6），下端插设在所述四氟套（6）内的电极体（1），和穿套在所述电极体（1）周围的绝缘瓷筒（4），所述绝缘瓷筒（4）部分露出所述底座（7）以上，其特征在于：所述电极体（1）露于所述绝缘瓷筒（4）以上的头部径向成型有外肩（1.1），所述绝缘瓷筒（4）露于底座（7）以上的部分外套有绝缘瓷环（3），所述绝缘瓷环（3）上、下两端分别与所述外肩（1.1）和底座（7）的配合面上分别设置有密封垫（2、5）。