[实用新型]硅片自动分选真空吸盘有效

专利信息
申请号: 201420638401.5 申请日: 2014-10-30
公开(公告)号: CN204144235U 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 黄杰;石志学;曹宝红;李苏杰 申请(专利权)人: 保定天威英利新能源有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 陆林生
地址: 071051 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 实用新型公开了一种硅片自动分选真空吸盘,涉及太阳能电池生产装置技术领域。本实用新型包括吸盘体,所述吸盘体包括主吸盘和辅助底盘;主吸盘的结构为:中间为圆形凸缘、四周为环形翼边的圆盘状,所述圆形凸缘的上表面与环形翼边的上表面平齐,圆形凸缘与环形翼边之间设有环形凹槽,一组吸气孔圆周均布在所述圆形凸缘的侧壁上;所述吸气孔通过气道与真空设备连接;辅助底盘的上表面与主吸盘的下表面密封相接,辅助底盘的下表面设有与真空设备连接的通气接头;吸盘体通过支撑体与分选机的动力机构相连。该吸盘吸气均匀、吸附力强,解决了现有吸盘吸附力差造成的重复吸附次数多、硅片易碎的问题。
搜索关键词: 硅片 自动 分选 真空 吸盘
【主权项】:
一种硅片自动分选真空吸盘,其特征在于:包括吸盘体,所述吸盘体包括主吸盘(3)和辅助底盘(1);所述主吸盘(3)的结构为:中间为圆形凸缘(7)、四周为环形翼边(8)的圆盘状,所述圆形凸缘(7)的上表面与环形翼边(8)的上表面平齐,圆形凸缘(7)与环形翼边(8)之间设有环形凹槽(5),一组吸气孔(6)圆周均布在所述圆形凸缘(7)的侧壁上;所述吸气孔(6)通过气道(2)与真空设备连接;所述辅助底盘(1)的上表面与主吸盘(3)的下表面密封相接,辅助底盘(1)的下表面设有与真空设备连接的通气接头(9);所述吸盘体通过支撑体(10)与分选机的动力机构相连。
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