[实用新型]清理工具有效
| 申请号： | 201420600614.9 | 申请日： | 2014-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN204144218U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 雷晓刚;吴兵 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种清理工具，所述清理工具包括杆体、可旋转的擦拭部件、连接部和驱动装置。所述清理工具设有驱动装置和可旋转的擦拭部件，通过驱动装置驱动所述擦拭部件进行旋转，可以实现对离子注入机内大面积区域和较小空间区域等不同区域进行清理。相较于传统的人工清理，本实用新型的清理工具能够彻底清理离子注入机内的膜状污染物，提高了清理的效率，缩短了机台保养的周期，避免了对精密部件的损坏，大大降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清理 工具 | ||
【主权项】：
一种清理工具，其特征在于，所述清理工具包括：杆体；擦拭部件，所述擦拭部件表面设有擦刮布；连接部，所述连接部一端与所述杆体的一端相连接，另一端与所述擦拭部件相连接；驱动装置，所述驱动装置与所述连接部和所述擦拭部件相连接，适于驱动所述擦拭部件旋转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420600614.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：全彩LED封装结构
- 下一篇：微断型预付费自动重合闸
