[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201420594844.9 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN204251689U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 闵永刚;王剑;童宋照 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 210046 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，包括蒸发室、蒸镀室、掩膜板调节转盘、样品架调节转盘、转盘调节螺杆、转盘支撑弹簧、大挡板、小挡板、挡板控制旋钮、蒸镀室观察窗、样品更换窗、气氛连通窗和样品过渡舱。与传统的真空镀膜样品台相比，该实用新型不仅能够实现最多16个不同厚度样品的一次性制备，而且能够实现样品制备、表征的集成操作以及掩膜板和样品台的可控旋转。大大节约了反复获得高真空所需要的时间，且操作方便，机械结构简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机，包含蒸镀室和置于其内底部的蒸发室，其特征在于：所述蒸镀室包含样品架调节转盘、掩膜板调节转盘；所述样品架调节转盘包含多个交替工作的样品台，所述掩膜板调节转盘包含多个与样品台数量相同且一一对应的掩膜板；所述样品台置于所对应的掩膜板上，所述蒸发室置于样品台和掩膜板的正下方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京邮电大学，未经南京邮电大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420594844.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
