[实用新型]一种镀膜蒸发源及应用该蒸发源的真空镀膜机有效
| 申请号： | 201420583845.3 | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN204080096U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 张星;孙昂 | 申请（专利权）人： | 深圳德诚达光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公明办事处*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型一种镀膜蒸发源，所述蒸发源包括电发热导体和镀膜颗粒，所述导体两端为可分别连接直流电正负电极的电极连接端，所述导体两侧设有可固定所述镀膜颗粒的卡槽，所述导体两侧分别通过卡槽装载有镀膜颗粒，依借上述技术方案，本实用新型所提供的镀膜蒸发源通过结构上的改进，致使镀膜颗粒中的药剂经过所述导体加热后向两侧散发，减少了向上及向下方散发的数量，使药剂能够充分被利用，减少了浪费同时提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 蒸发 应用 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种镀膜蒸发源，其特征在于，所述蒸发源包括电发热导体和镀膜颗粒，所述导体两端为可分别连接直流电正负电极的电极连接端，所述导体两侧设有可固定所述镀膜颗粒的卡槽，所述导体两侧分别通过卡槽装载有镀膜颗粒。
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