[实用新型]一种大电流高压硅堆清洗装置有效
| 申请号： | 201420571582.4 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN204182612U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 黄丽凤;王志敏;张龙 | 申请（专利权）人： | 如皋市大昌电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B3/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种大电流高压硅堆清洗装置，包括机架、清洗池、机械臂及移动导轨；所述清洗池、机械臂及移动导轨均安装在机架的内部，且机械臂及移动导轨位于清洗池的上端，所述清洗池包括沿着移动导轨长轴方向依次分布的HF液清洗池、一级HF溢水清洗池、二级HF溢水清洗池、一级KOH清洗池、二级KOH清洗池、一级喷淋溢水清洗池、二级喷淋溢水清洗池、EDTA-2超声清洗池、一级超声清洗溢水清洗池、超声清洗池、二级超声清洗溢水清洗池、一级丙酮脱水池、二级丙酮脱水池，在二级KOH清洗池与一级喷淋溢水清洗池之间设置有喷淋嘴。本实用新型的优点在于：利用本装置对焊接后的大电流高压硅堆进行清沟，可以很好的去除附着在高压硅堆表面的杂质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电流 高压 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种大电流高压硅堆清洗装置，其特征在于：包括机架、清洗池、机械臂及移动导轨；所述清洗池、机械臂及移动导轨均安装在机架的内部，且机械臂及移动导轨位于清洗池的上端，所述移动导轨沿着机架的长轴方向延伸，机械臂安装在移动导轨上，并且沿着移动导轨的延伸方向进行延伸；所述清洗池包括沿着移动导轨长轴方向依次分布的HF液清洗池、一级HF溢水清洗池、二级HF溢水清洗池、一级KOH清洗池、二级KOH清洗池、一级喷淋溢水清洗池、二级喷淋溢水清洗池、EDTA‑2超声清洗池、一级超声清洗溢水清洗池、超声清洗池、二级超声清洗溢水清洗池、一级丙酮脱水池、二级丙酮脱水池，在二级KOH清洗池与一级喷淋溢水清洗池之间设置有喷淋嘴。
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