[实用新型]一种CCD调制传递函数测量装置有效
| 申请号： | 201420560568.4 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN204202849U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 薛勋;段亚轩;陈永权;赵建科;胡丹丹;张洁;李坤;徐亮;刘峰;田留德;潘亮;赛建刚;周艳;高斌;赵怀学;张周锋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨引雪 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种CCD调制传递函数测量装置，该测量装置包括三维调整系统、光源和光处理单元；所述光处理单元固定在三维调整系统上，光处理单元包括目标狭缝和显微物镜；所述目标狭缝和显微物镜依次设置在所述光源的出射光路上，显微物镜包括两个面，其中一个面上设有螺纹，设有螺纹的面为像方，另一个面为物方；所述光源的出射光由像方入射，由物方出射。在本实用新型中，为获取线扩展函数提供了宽度小于1μm的高成像质量目标狭缝，通过获得的缩小的、高质量的目标狭缝，将此目标狭缝会聚于被测成像器件阵列之上，实现了精细采样，提高了测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ccd 调制 传递函数 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种CCD调制传递函数测量装置，其特征在于：包括三维调整系统、光源和光处理单元；所述光处理单元固定在三维调整系统上，光处理单元包括目标狭缝和显微物镜；所述目标狭缝和显微物镜依次设置在所述光源的出射光路上，显微物镜包括两个面，其中一个面上设有螺纹，设有螺纹的面为像方，另一个面为物方；所述光源的出射光由像方入射，由物方出射。
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