[实用新型]一种扫描电镜样品台有效
| 申请号： | 201420542286.1 | 申请日： | 2014-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN204088258U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 黄洁;高明;王栩生 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜样品台，所述样品台上设于至少一对竖直凹槽和一对倾斜凹槽；所述竖直凹槽的槽壁上设有螺孔，螺孔内设有配合的顶丝；所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20~40度。本实用新型在样品台上设置竖直凹槽和倾斜凹槽，采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内，便于样品截面的垂直观察；采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察；从而实现了大角度的视野范围内的检测，方便观察更多的测试细节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 | ||
【主权项】：
一种扫描电镜样品台，其特征在于：所述样品台上设有至少一对竖直凹槽(1)和一对倾斜凹槽(2)；所述竖直凹槽的宽度为0.3~1.5 mm，深度为5~8 mm；其槽壁上设有螺孔(3)，螺孔内设有配合的顶丝；所述倾斜凹槽的宽度为0.3~1.5 mm，深度为5~8 mm；所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20~40度；所述倾斜凹槽的外侧壁比内侧壁低2~4 mm。
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