[实用新型]一种扫描电镜样品台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜样品台，尤其适用于测试薄片型样品。

背景技术

现有技术中，扫描电镜是一种样品制备简单、分辨高、综合分析能力强的测试分析设备，目前广泛应用于各类材料的表面和截面微观分析。其中，样品台是扫描电镜设备的核心部件，其一般为铝制的圆形平台。在样品表面测试时，通常通过导电胶将样品粘贴于样品台面上做观察。而要对样品做截面测试，需要在样品台的四周贴上导电胶，再将样品贴于平台侧边上。

目前的扫描电镜在测试过程中，样品台可以通过连轴马达实现一定角度的旋转。以日立S4800型号为例，样品台可以最大倾斜30度左右。然而，在测试过程中，样品有掉落损坏机器的风险；尤其是当电子枪与样品台的工作距离较近时，大角度旋转有损坏仪器的风险。而在实际工作中，测试人员又希望能得到更大角度的视野范围，这种矛盾一直困扰着本领域的测试人员以及扫描电镜生产商。

发明内容

本实用新型的发明目的是提供一种扫描电镜样品台。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种扫描电镜样品台，所述样品台上设于至少一对竖直凹槽和一对倾斜凹槽；

所述竖直凹槽的宽度为0.3~1.5 mm，深度为5~8 mm；其槽壁上设有螺孔，螺孔内设有配合的顶丝；

所述倾斜凹槽的宽度为0.3~1.5 mm，深度为5~8 mm；所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角为20~40度；

所述倾斜凹槽的外侧壁比内侧壁低2~4 mm。

上文中，所述竖直凹槽和倾斜凹槽都是用来装载薄片式的样品，比如硅片、电池片等。

所述凹槽的槽壁上设有螺孔，螺孔内设有配合的顶丝，该结构是用来固定待测样品的，通过顶丝的旋入顶住样品，使其固定于凹槽内。

所述倾斜凹槽的外侧壁比内侧壁低，使样品的外侧面露出凹槽之外，便于扫描电镜对样品的表面进行检测。

上述技术方案中，所述竖直凹槽和倾斜凹槽相互垂直设置。

上述技术方案中，所述竖直凹槽和倾斜凹槽均贯通所述样品台。该结构可以使待测样品从侧边装载或卸除，方便操作。

优选的，所述顶丝的顶紧端设有缓冲顶片。这是为了更好的固定待测样品，以及能防止样品被顶丝顶碎。

优选的，所述竖直凹槽和倾斜凹槽的宽度均为0.5~1 mm，深度为6~7 mm。

优选的，所述倾斜凹槽与样品台的夹角为30度；所述倾斜凹槽的外侧壁比内侧壁低3 mm。该结构是为了配合现有的日立S4800扫描电镜，因为其样品台可以最大倾斜30度左右。在观察样品时，利用扫描电镜做样品倾斜测试时（tilt测试），样品台本身可以从0到30度旋转，加上本实用新型的结构，可以实现样品从-30度到60度观察；相当于可以做从水平到垂直多角度的观察样品细节。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1、本实用新型在现有的扫描电镜样品台基础上，对其进行了改进，在样品台上设置竖直凹槽和倾斜凹槽，采用竖直凹槽将待测样品固定在凹槽内，便于样品截面的垂直观察；采用倾斜凹槽进行样品截面和表面的多角度观察；从而实现了大角度的视野范围内的检测，方便观察更多的测试细节；

2、本实用新型采用螺孔和顶丝固定待测样品，不仅固定牢固可靠，避免了样品掉落而损坏仪器的风险，而且还节省了导电胶耗材，节省了制样成本；

3、本实用新型将倾斜凹槽的外侧壁设计得比内侧壁低，使样品的外侧面露出凹槽之外，便于扫描电镜对样品的表面进行检测，可以实现同时观察多个薄片型样品的截面和前表面；

4、本实用新型的结构简单，成本较低，适于推广应用。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的立体图。

图2是本实用新型实施例一的侧视图。

图3是本实用新型实施例一的俯视图。

1、竖直凹槽；2、倾斜凹槽；3、螺孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步描述。

实施例一：

参见图1~3所示，一种扫描电镜样品台，所述样品台上设有一对竖直凹槽1和一对倾斜凹槽2；

所述竖直凹槽的宽度为0.7 mm，深度为7 mm；其槽壁上设有螺孔3，螺孔内设有配合的顶丝；

所述倾斜凹槽的宽度为0.7 mm，深度为7 mm；所述一对倾斜凹槽对称设于样品台的两侧，倾斜凹槽与样品台的夹角30度；

所述倾斜凹槽的外侧壁比内侧壁低3 mm。