[实用新型]滚轮衬套与用于处理腔室的基板支撑件

摘要

本文揭示滚轮衬套与用于处理腔室的基板支撑件。滚轮衬套包括外壳及至少部分在所述外壳内所形成的至少四个滚道，外壳具有沿着纵向轴通过所述外壳所形成的内孔而用以容纳升举销。所述至少四个滚道包含设置于滚道中且可移动的数个轴承元件。各滚道包括第一通道及与第一通道平行且径向分隔的第二通道。第二通道包含纵向切口，从而允许数个轴承元件的至少一部分延伸进入内孔。滚轮衬套更包括设置于外壳的第一端处的第一盖与设置于外壳的第二端处的第二盖，各盖包含形成于盖中的回流凹槽，回流凹槽连接第一通道与第二通道以促进数个轴承元件在第一通道与第二通道之间移动。

主权项

一种滚轮衬套，其特征在于，包括：一外壳，所述外壳具有沿着一纵向轴通过所述外壳所形成的一内孔，用以容纳一升举销；至少四个滚道，所述至少四个滚道至少部分在所述外壳内所形成，所述至少四个滚道包含移动地设置于所述至少四个滚道中的数个轴承元件，所述至少四个滚道的各者皆包括：一第一通道；及一第二通道，所述第二通道与所述第一通道平行且径向分隔，所述第二通道包含一纵向切口，从而允许所述数个轴承元件的至少一部分延伸进入所述内孔；以及一第一盖及一第二盖，所述第一盖设置于所述外壳的一第一端处且所述第二盖设置于所述外壳的一第二端处，各盖皆包含形成于所述盖中的一回流凹槽，所述回流凹槽连接所述第一通道与所述第二通道，以促进所述数个轴承元件在所述第一通道与所述第二通道之间移动。