[实用新型]一种双面电泳架装置有效

专利信息
申请号: 201420487058.9 申请日: 2014-08-27
公开(公告)号: CN204039533U 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 薄勇;杨玉聪;刘玉涛;安毅力;王晓捧 申请(专利权)人: 天津中环半导体股份有限公司
主分类号: C25D13/16 分类号: C25D13/16
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 王凤英
地址: 300384 天津市滨海新区新*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型涉及双面GPP保护晶体管芯片生产设备,具体是一种改造后的电泳用双面电泳架装置。双面电泳架包括横梁、负极板、正极环、托板、定位板、插槽和侧板,其中横梁的两端水平固定在两侧板的上部内侧,两定位板分别固定在两侧板的上部外侧,用于与电泳设备电源连接的插槽固定在其中的一个侧板的上端,托板的两端水平固定在两侧板的下部内侧,数个负极板和正极环依次交替固定在托板上。使用双面电泳架装置,硅片两面同时电泳一致性好,避免两次单面电泳造成的硅片两面玻璃层厚度不一致的问题,两面同时电泳不易损坏,由此提高了产品良率及可靠性。
搜索关键词: 一种 双面 电泳 装置
【主权项】:
一种双面电泳架装置,其特征在于:包括横梁(1)、负极板(2)、正极环(3)、托板(4)、定位板(5)、插槽(6)和侧板(7),其中横梁(1)的两端水平固定在两侧板(7)的上部内侧,两定位板(5)分别固定在两侧板(7)的上部外侧,用于与电泳设备电源连接的插槽(6)固定在其中的一个侧板(7)的上端,托板(4)的两端水平固定在两侧板(7)的下部内侧,数个负极板(2)和正极环(3)依次交替固定在托板(4)上。
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