[实用新型]扩散器

摘要

本申请公开了扩散器。本实用新型通常涉及气体分配板，所述气体分配板被设计以确保基板上的大体上均匀沉积。气体分配板可补偿基板角落区域以及基板边缘中的非均匀性。为了补偿非均匀性，气体通道口可被根据需要不同地定尺寸以使得允许更多的气体流过某些策略上放置的气体通道，以增加位于气体分配板之下的基板区域中的基板上的沉积。可改变孔口尺寸以形成产生大体上均匀沉积的孔口直径梯度或直径混合。

主权项

一种扩散器，包括： 板，具有边缘区域和角落区域；以及多个气体通道，形成在所述板的上游侧和下游侧之间，其中在所述边缘区域和所述角落区域的一个或两个中的所述多个气体通道中的一部分包括具有第一直径的第一孔洞和具有第二直径的第二孔洞，所述第二直径小于所述第一直径。