[实用新型]直接生长蓝宝石整流罩的设备有效
申请号: | 201420427928.3 | 申请日: | 2014-07-31 |
公开(公告)号: | CN203960392U | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 何晔;佘建军;李金;何根华;陈川贵;刘建军;付昌禄;武欢;李海林;宋晓佳;母江东;邓力;许华胜;王璐 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20;C30B15/30 |
代理公司: | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人: | 梁展湖;李海华 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种直接生长蓝宝石整流罩的设备,包括机架、炉体、坩埚、以及毛细管导模,在机架的下方设有一旋转组件,所述旋转组件包括固定架、旋转电机以及传动杆,通过该旋转电机能够带动坩埚转动;在炉体上方设有一支架,在支架上设有一纵向移动机构和横向移动机构,所述横向移动机构与纵向移动机构相连,在横向移动机构上设有一力矩电机,在力矩电机的输出轴上设有一籽晶杆固定架,所述毛细管导模竖直设于炉体内,并通过固定夹具安装于坩埚上,其下端伸入坩埚内;在炉体顶部设有一供籽晶杆穿过的通孔,且籽晶杆能够在该通孔内横向移动。本实用新型能够有效降低加工难度,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 直接 生长 蓝宝石 整流 设备 | ||
【主权项】:
一种直接生长蓝宝石整流罩的设备,其特征在于:包括机架、炉体、坩埚、以及毛细管导模,所述炉体安装在机架上,坩埚安装在炉体内;在机架的下方设有一旋转组件,所述旋转组件包括固定架、旋转电机以及传动杆,所述传动杆竖直设置,其一端与旋转电机输出轴相连,另一端穿过炉体后与坩埚底部相连,通过该旋转电机能够带动坩埚转动;在炉体上方设有一支架,在支架上设有一纵向移动机构和横向移动机构,所述横向移动机构与纵向移动机构相连,通过该纵向移动机构能够带动横向移动机构上下移动,在横向移动机构上设有一力矩电机,在力矩电机的输出轴上设有一籽晶杆固定架,通过该力矩电机能够带动籽晶杆固定架旋转;所述毛细管导模竖直设于炉体内,并通过固定夹具安装于坩埚上,其下端伸入坩埚内,其中,所述毛细管导模的轴心线与传动杆的轴心线之间具有间距;在炉体顶部设有一供籽晶杆穿过的通孔,且籽晶杆能够在该通孔内横向移动。
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