[实用新型]键合夹具和键合机器

摘要

本实用新型公开了一种键合夹具，键合夹具为可拆卸式，键合夹具可自动对准并完成对两片基片的夹紧功能。本实用新型还公开了一种键合机器，包括对准系统和可拆卸式键合夹具，可拆卸式键合夹具包括上下盖板，上下盖板各吸附一片基片，对准系统完成两片基片的对准工作，可拆卸式键合夹具自动完成插入间隔片和夹紧两片预键合基片的工作。本实用新型所提供的键合机器可以自动完成对准工作，由于设置了可拆卸式键合夹具，能够自动完成插入间隔片和夹紧两片预键合的基片的工作，降低了劳动强度，提高了工作效率。并且先将两片预键合的基片对准，然后再插入间隔片，提高了两片预键合的基片对准的精度。

主权项

一种键合夹具，所述键合夹具为可拆卸式，其特征在于，所述键合夹具可自动完成插入间隔片和夹紧两片预键合的基片的工作；所述键合夹具包括上下两块可吸附所述基片的盖板、水平定位夹紧机构和垂直夹紧机构；所述盖板包括盖板定位装置、盖板夹持装置、插片装置以及驱动装置；所述盖板定位装置为两块V形块，用于所述盖板的水平方向定位；所述插片装置包括第一开关杆和第一组滚轮拨叉，所述盖板定位后，所述第一组滚轮拨叉控制所述第一开关杆，所述第一开关杆控制在上下两片已对准的所述基片中间插入间隔片；所述盖板夹持装置包括第二开关杆和第二组滚轮拨叉，所述间隔片被插入后，所述第二组滚轮拨叉控制所述第二开关杆，所述第二开关杆控制所述上下盖板的夹持运动，从而将两片所述基片夹紧。