[实用新型]一种湿式刻蚀机的喷淋装置

摘要

本实用新型提供了一种湿式刻蚀机的喷淋装置，属于机械设备技术领域。它解决了现有喷淋装置中水膜不均匀的问题。本湿式刻蚀机的喷淋装置包括可盛放刻蚀溶液的槽体和设在槽体上方的喷淋头，喷淋头与水管相连，槽体内设有带液滚轮，带液滚轮的一端穿出槽体并与设置在槽体一侧的电机相连，带液滚轮的上方设有赶水滚轮和轮轴，赶水滚轮套在轮轴上空转，槽体的侧壁上连接有能改变轮轴高度的升降结构，另外硅片在带液滚轮与赶水滚轮之间输送。湿式刻蚀机的喷淋装置使硅片表面水膜均匀覆盖，减少刻蚀槽内腐蚀量下降。

主权项

一种湿式刻蚀机的喷淋装置,包括可盛放刻蚀溶液的槽体(1)和设在槽体(1)上方的喷淋头(2)，所述喷淋头(2)与水管相连，所述槽体(1)内设有带液滚轮(3)，所述带液滚轮(3)的一端穿出槽体(1)并与设置在槽体(1)一侧的电机(4)相连，其特征在于，所述带液滚轮(3)的上方设有赶水滚轮(5)和轮轴(51)，所述赶水滚轮(5)套在轮轴(51)上空转，所述槽体(1)的侧壁上连接有能改变轮轴(51)高度的升降结构，另外硅片(9)在带液滚轮(3)与赶水滚轮(5)之间输送。