[实用新型]一种湿式刻蚀机的喷淋装置

说明书

技术领域

本实用新型属于机械设备技术领域，涉及一种刻蚀机，特别是一种湿式刻蚀机的喷淋装置。

背景技术

太阳能作为一种新型的可再生能源，随着人们对其不断地开发与研究，太阳能的运用的领域越来越广，作用越来越大。其中太阳能电池已经不是一个陌生的话题了，并且人们对于太阳能电池仍然在挖掘与探究，从未停留过。

如中国实用新型专利申请(申请号：201310489196.0)公开了一种硅太阳能电池生产中的湿刻蚀方法，其中该湿刻蚀装置的结构包括刻蚀槽和刻蚀槽上方的喷淋头，刻蚀槽内还设有若干个带液滚轮，在硅片的扩散面上通过水喷淋系统喷淋去离子水，形成水膜保护层，该水膜保护层一直持续存在，直到硅片完成刻蚀步骤，该发明能够稳定控制刻蚀后的方阻上升值，增加了PN结的有效面积，提高电池片的转换效率。但该刻蚀机在对硅片进行喷淋，硅片表面水膜不均匀，水会进入刻蚀槽，从而会减少腐蚀量。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种湿式刻蚀机的喷淋装置，该装置解决了硅片表面水膜不均匀与刻蚀槽内腐蚀量下降的现象。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种湿式刻蚀机的喷淋装置,包括可盛放刻蚀溶液的槽体和设在槽体上方的喷淋头，所述喷淋头与水管相连，所述槽体内设有带液滚轮，所述带液滚轮的一端穿出槽体并与设置在槽体一侧的电机相连，其特征在于，所述带液滚轮的上方设有赶水滚轮和轮轴，所述赶水滚轮套在轮轴上空转，所述槽体的侧壁上连接有能改变轮轴高度的升降结构，另外所述硅片在带液滚轮与赶水滚轮之间输送。

喷淋头的顶端设有出水口，带液滚轮在电机的带动下，当硅片随着带液滚轮输送经过喷淋头时，喷淋头向硅片表面喷上水，硅片表面就会形成一层水膜，通过升降结构调节赶水滚轮的高度，从而控制硅片表面的水膜厚度。

所述硅片呈方形，硅片平靠在带液滚轮上方。带液滚轮在电机的带动下，对硅片进行输送，带液把硅片四个边缘的PSG去除干净。

所述升降结构包括一端铰接在槽体侧壁上可沿铰接点摆动的摆臂，所述摆臂的另一端与轮轴端垂直相固连，所述摆臂上连接有带动摆臂摆动的摇柄。轮轴是固定不旋转的，转动摇柄对摆臂进行上下调节，轮轴会随着摆臂的上下运动而运动，轮轴带动赶水滚轮控制水膜的厚度。

作为另一种方案，所述升降结构包括凸轮、带动凸轮转动的马达、固定在槽体侧壁上的导套和设于导套内可沿导套上下滑行的导杆，所述导杆上端与轮轴垂直相固连，所述导杆下端始终与凸轮的轮面相抵靠，所述在槽体侧壁上设有控制马达的开关。启动槽体侧壁上的开关，马达运转带动凸轮旋转，由于凸轮的边缘离轴心距离不同，故凸轮不同面接触到导杆时，导杆会上下运动带动轮轴，利用赶水滚轮对硅片上的水膜厚度进行调节。

所述喷淋头两侧各设有一个赶水滚轮。喷淋头喷出的水在硅片上方形成一层水膜，对硅片上方的PSG进行保护，赶水滚轮使硅片表面水膜达到均匀的目的，减少水进入刻蚀槽的概率，从而使腐蚀量不会出现大的下降。

所述槽体为长方形，所述赶水滚轮的长度与槽体宽度相同。

与现有技术相比，本湿式刻蚀机的喷淋装置在硅片上方设置多个赶水滚轮，对硅片上方的PSG起到一个保护作用，并且赶水滚轮的运转会使硅片表面水膜均匀覆盖，减少水进入刻蚀槽的概率，从而使腐蚀量不会出现大的下降。

附图说明

图1是一种湿式刻蚀机的喷淋装置结构示意图。

图2是一种湿式刻蚀机的喷淋装置侧边结构示意图。

图3是实施例一中升降结构的结构示意图。

图4是实施例二中升降结构的结构示意图

图中，1、槽体；2、喷淋头；3、带液滚轮；4、电机；5、赶水滚轮；51、轮轴；6、摆臂；61、摇柄；7、凸轮；71、导杆；72、导套；8、马达；81、开关；9、硅片。

具体实施方式

实施例一