[实用新型]中小尺寸液晶基板吸附翻转装置有效
申请号: | 201420407343.5 | 申请日: | 2014-07-23 |
公开(公告)号: | CN204088277U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 高艳;白雁兵;孙贝贝;赵金虎;胡钦华;李小鹏;李江;于百灵;王淳;徐江潮;高建强;高鹏 | 申请(专利权)人: | 太原风华信息装备股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 山西科贝律师事务所 14106 | 代理人: | 陈奇 |
地址: | 030024 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种中小尺寸液晶基板吸附翻转装置,解决了现有技术存在的吸盘在吸附玻璃基板时冲击力大的问题。包括在立柱(1)的侧面上固定设置有垂直导轨(2)和升降滑块(3),在升降滑块(3)上固定设置有水平导轨基板(5)及水平滑块(7),在水平滑块(7)上固定设置有旋转气缸(9),在旋转气缸(9)的输出轴上连接有L形支架(10)和T字形缓冲导向导轨基座(11),在T字形缓冲导向导轨基座(11)的顶端固定设置有缓冲螺柱安装座(16),并螺接有套接有缓冲弹簧(19)的缓冲螺柱(18),在吸盘连接立板(20)的顶端面上设置有缓冲凹槽(21),缓冲凹槽(21)设置在缓冲螺柱(18)的正下方。本实用新型特别适合自动化和大批量生产。 | ||
搜索关键词: | 中小 尺寸 液晶 吸附 翻转 装置 | ||
【主权项】:
一种中小尺寸液晶基板吸附翻转装置,包括可编程控制器和立柱(1),在立柱(1)的侧面上固定设置有垂直导轨(2),在垂直导轨(2)上设置有升降滑块(3),升降滑块(3)与固定设置在立柱(1)上的升降驱动气缸(4)的输出轴连接在一起,在升降滑块(3)上固定设置有水平导轨基板(5),在水平导轨基板(5)上设置有水平导轨(6),在水平导轨(6)上设置有水平滑块(7),水平滑块(7)与固定设置在水平导轨基板(5)上的水平驱动气缸(8)的输出轴连接在一起,其特征在于,在水平滑块(7)上固定设置有旋转气缸(9),在旋转气缸(9)的输出轴上连接有L形支架(10),在L形支架(10)上固定设置有T字形缓冲导向导轨基座(11),在T字形缓冲导向导轨基座(11)的立板上设置有缓冲导向导轨(12),在缓冲导向导轨(12)上设置有缓冲导向滑块(13),在T字形缓冲导向导轨基座(11)的底端固定设置有缓冲导向滑块(13)的限位凸块(15),在T字形缓冲导向导轨基座(11)的顶端固定设置有缓冲螺柱安装座(16),在缓冲螺柱安装座(16)上设置有缓冲螺柱连接孔(17),在缓冲螺柱连接孔(17)中螺接有缓冲螺柱(18),在缓冲导向滑块(13)上固定设置有吸盘连接立板(20),在吸盘连接立板(20)的顶端面上设置有缓冲凹槽(21),缓冲凹槽(21)设置在缓冲螺柱(18)的正下方,在缓冲螺柱(18)上套接有缓冲弹簧(19),缓冲弹簧(19)的上端靠接在缓冲螺柱安装座(16)的下底面上,缓冲弹簧(19)的下端靠接在吸盘连接立板(20)的顶端面上,在吸盘连接立板(20)的底端面上连接有吸盘(14);水平驱动气缸(8)、升降驱动气缸(4)和旋转气缸(9)均分别与可编程控制器电连接在一起。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造