[实用新型]一种太阳能电池片用石英舟有效
申请号: | 201420394498.X | 申请日: | 2014-07-17 |
公开(公告)号: | CN203967053U | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 沈少杰 | 申请(专利权)人: | 苏州矽美仕绿色新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 韩国胜;张海英 |
地址: | 215400 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种太阳能电池片用石英舟,涉及硅片装载装置技术领域,为解决现有石英舟产量低、成本高等问题而设计。本实用新型提供的太阳能电池片用石英舟其上片槽的中线和下片槽的中线均向气源方向倾斜,使得硅片能够倾斜的设置在石英舟内,这样能够在减小上片槽和下片槽的槽宽的情况下仍能保证气场的均匀接触,在相同规格的石英舟内可以放置更多的硅片,如原有能够放置100片硅片,采用本实用新型的结构可增加至150片,在提高电池片性能的同时大大提高了产量。相邻上片槽之间的间距以及相邻下片槽之间的间距向气源方向逐渐增大,抵消由于距离气源距离不同而产生的差异,提高均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 石英 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池片用石英舟,包括两个相对设置的连接支架(1)以及固定于两个所述连接支架(1)之间的两个上支杆(2)和两个下支杆(3),所述两个上支杆(2)对称设置于所述连接支架(1)的两端,所述两个下支杆(3)对称设置于所述连接支架(1)的中部,所述上支杆(2)的内侧上开有多个间隔排布的上片槽(21),所述下支杆(3)的顶部开有与所述多个上片槽(21)相对应的多个间隔排布的下片槽(31),其特征在于:所述上片槽(21)的中线以及所述下片槽(31)的中线均向气源方向倾斜,所述上片槽(21)的中线和与该上片槽(21)相对应的下片槽(31)的中线位于同一平面内;相邻所述上片槽(21)之间的间距向气源方向逐渐增大;相邻所述下片槽(31)之间的间距向气源方向逐渐增大。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造