[实用新型]一种基板库定位装置有效
| 申请号： | 201420384572.X | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN204019399U | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 吴福龙;阮冬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基板库定位装置，包括左底板和右底板，所述左底板和所述右底板安装在模块框架上，所述左底板和右底板上通过滚轮支架和滚轮轴安装有若干个水平位置固定的滚轮，所述滚轮设置在基板库的四周，所述滚轮的轴线与所述基板库的底面平行，所述滚轮外侧设有用于对所述滚轮限位的限位支架；所述左底板的一个直角处设有导轨和用于驱动支架沿所述导轨滑动的气缸，所述支架上固定有用于对所述基板库夹紧限位的凹槽形状的限位块。本实用新型所提供的基板库定位装置能够避免安装和拆卸过程中基板库抖动，并防止工作过程中基板库被抬起，提高了基板库的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板库 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种基板库定位装置，其特征在于，包括左底板(2‑1)和右底板(2‑2)，所述左底板(2‑1)和所述右底板(2‑2)安装在模块框架上，所述左底板(2‑1)和右底板(2‑2)上通过滚轮支架(2‑3)和滚轮轴(2‑4)安装有若干个水平位置固定的滚轮(2‑5)，所述滚轮(2‑5)设置在基板库(2‑10)的四周，所述滚轮(2‑5)的轴线与所述基板库(2‑10)的底面平行，所述滚轮(2‑5)外侧设有用于对所述滚轮(2‑5)限位的限位支架(2‑6)；所述左底板(2‑1)的一个直角处设有导轨(2‑7)和用于驱动支架(2‑9)沿所述导轨(2‑7)滑动的气缸(2‑8)，所述支架(2‑9)上固定有用于对所述基板库(2‑10)夹紧限位的凹槽形状的限位块(2‑11)。
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