[实用新型]一种基板库定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板库定位装置。

背景技术

在光刻机等半导体设备中，均需要基板库储存即将要进行曝光和已经曝光好的基板，基板库是基板存储与运输的媒介。

请参考图1和图2，现有技术的基板库定位装置包括底板1-1，底板1-1安装在模块框架上。底板1-1上设有导轨1-2和用于驱动导轨1-2的气缸1-3。底板1-1的对角通过轴承支架1-4安装有两个凸轮轴承1-5，也即两个凸轮轴承1-5设置在基板库1-6的对角处，其中一个凸轮轴承1-5通过轴承支架1-4安装在支架1-7上，支架1-7安装在导轨1-2上，通过调整气缸1-3运动方向(图1中箭头所指方向是气缸1-3的运动方向)，驱动安装在导轨1-2上的凸轮轴承1-5对基板库1-6进行夹紧，能够实现对基板库1-6水平方向的夹紧和限位，但是无法对基板库1-6在垂直方向夹紧和限位，导致基板库1-6在安装和拆卸过程中会抬起。当要取出基板库1-6，松开气缸1-3，对基板库1-6在垂直方向上的稳定性影响很大，对基板的定位不稳固。且由于凸轮轴承1-5轴线方向与基板库1-6底面垂直，与基板库1-6安装和拆卸的方向一致，不利于基板库1-6安装和拆卸。而且只在底板1-1的对角设置有两个凸轮轴承1-5，另外两对角边用第一导向件1-8和第二导向件1-9进行定位，所以基板库1-6定位不够牢靠。

随着集成电路制造行业的高速发展，需要提高基板库的稳定性，以保证存储在基板库中的基板在运输过程中质量不受到影响。

实用新型内容

为了提高基板库的稳定性，本实用新型提供一种基板库定位装置。

为了解决以上技术问题，本实用新型的技术方案是：一种基板库定位装置，包括左底板和右底板，所述左底板和所述右底板安装在模块框架上，所述左底板和右底板上通过滚轮支架和滚轮轴安装有若干个水平位置固定的滚轮，所述滚轮设置在基板库的四周，所述滚轮的轴线与所述基板库的底面平行，所述滚轮外侧设有用于对所述滚轮限位的限位支架；所述左底板的一个直角处设有导轨和用于驱动支架沿所述导轨滑动的气缸，所述支架上固定有用于对所述基板库夹紧限位的凹槽形状的限位块。

所述限位支架上设有螺栓。

所述左底板和所述右底板通过调节螺栓安装在模块框架上。

所述左底板和所述右底板上均固定有用于支撑所述基板库的位置决定器。

所述位置决定器一侧设有用于在上载所述基板库时对所述基板库缓冲的缓冲器。

所述左底板和所述右底板上均设有存在传感器。

本实用新型所提供的基板库定位装置，所述滚轮设置在基板库四周，所述滚轮的轴线与所述基板库的底面平行，通过调节所述滚轮支架控制所述滚轮与所述基板库侧面的距离，通过调整所述滚轮与所述基板库侧面的距离对基板库进行精确定位；由于所述滚轮转动方向与基板库取放方向相切，起导向作用，有利于基板库的安装和拆卸；且由于滚轮的水平位置是固定的，滚轮转动过程中与基板库之间的距离不变，使基板库在取放过程中更为平稳。所述气缸驱动所述导轨带动所述限位块对基板库的水平方向和垂直方向同时夹紧限位，能够避免安装和拆卸基板库过程中基板库上下抖动，并防止工作过程中基板库被抬起，使基板库在工作过程中更稳定。

附图说明

图1是现有技术中基板库定位装置的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是本实用新型所提供的基板库定位装置的结构示意图；

图4a是将基板库安装在基板库定位装置之前或者将基板库从基板库定位装置拆卸之后的示意图；

图4b是基板库安装在基板库定位装置的示意图；

图5是图4a中B处的局部放大图，是安装或拆卸基板库时限位块的状态；

图6是图4b中C处的局部放大图，是将基板库安装夹紧时限位块的状态。

现有技术图示：1-1、底板，1-2、导轨，1-3、气缸，1-4、轴承支架，1-5、凸轮轴承，1-6、基板库，1-7、支架，1-8、第一导向件，1-9、第二导向件。

本实用新型图示：2-1、左底板，2-2、右底板，2-3、滚轮支架，2-4、滚轮轴，2-5、滚轮，2-6、限位支架，2-6-1、螺栓，2-7、导轨，2-8、气缸，2-9、支架，2-10、基板库，2-11、限位块，2-12、调节螺栓，2-13、位置决定器，2-14、缓冲器，2-15、存在传感器，2-16、推车托盘。

具体实施方式