[实用新型]一种过滤芯片

摘要

本实用新型涉及一种过滤芯片，属于环境、食品、化工和医药等领域。该芯片包括具有过滤结构的衬底、上盖、正向进样口、正向出样口、反向回冲进样口、反向回冲出样口，芯片一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的反向回冲出样口、正向进样口，芯片另一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的正向出样口、反向回冲进样口,所述过滤结构由一系列具有间隙呈柱状阵列的微纳柱体组成的，分为内过滤结构和外过滤结构，具有过滤结构的衬底和上盖通过衬底上未刻蚀部分牢固绑定在一起。本实用新型回收率高、可承受高流速、成本低、适于大规模量产，可广泛用于水、食品及微生物领域微颗粒的过滤和浓缩。

主权项

一种过滤芯片，其特征是：所述芯片包括具有过滤结构的衬底、上盖、正向进样口、正向出样口、反向回冲进样口、反向回冲出样口，芯片一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的反向回冲出样口、正向进样口，芯片另一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的正向出样口、反向回冲进样口,所述过滤结构由一系列具有间隙呈柱状阵列的微纳柱体组成的，分为内过滤结构和外过滤结构，具有过滤结构的衬底与上盖通过衬底上的分布于内过滤结构内部和外过滤结构外部的固定柱绑定在一起。