[实用新型]一种过滤芯片

权利要求书

1.一种过滤芯片，其特征是：所述芯片包括具有过滤结构的衬底、上盖、正向进样口、正向出样口、反向回冲进样口、反向回冲出样口，芯片一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的反向回冲出样口、正向进样口，芯片另一侧由近及远依次排列着分别与过滤结构相连通的正向出样口、反向回冲进样口,所述过滤结构由一系列具有间隙呈柱状阵列的微纳柱体组成的，分为内过滤结构和外过滤结构，具有过滤结构的衬底与上盖通过衬底上的分布于内过滤结构内部和外过滤结构外部的固定柱绑定在一起。

2.如权利要求1所述的一种过滤芯片，其特征是：内过滤结构和外过滤结构的间隙为非均匀设计，且内过滤结构和外过滤结构间隙的大小呈错开排列。

3.如权利要求1所述的一种过滤芯片，其特征是：所述微纳柱体可为方形、圆柱形、梯形形状、类雨滴形状，或其他各种类似形状。

4.如权利要求1所述的一种过滤芯片，其特征是：所述衬底是硅或玻璃。