[实用新型]超净高纯氢氟酸的过滤装置有效
| 申请号： | 201420369068.2 | 申请日： | 2014-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN203976397U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴建良;胡美艳 | 申请（专利权）人： | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215341 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了超净高纯氢氟酸的过滤装置，包括过滤器本体，其特征在于：所述的过滤器本体底部设有纯水进口和排污出口，所述的排污出口旁为氮气入口，所述的物料进口位于排污出口上方，所述的过滤器本体上方设有尾气出口，物料出口设在过滤器本体的最上方，所述的压力表与物料进口相连，过滤器本体的设有液位管，过滤器本体内部设有可更换的滤芯。本实用新型提供了一种可安全更换滤芯的超净高纯氢氟酸的过滤装置，结构简单，维护方便，减少安全事故的发生，同时提高了超净高纯氢氟酸的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 净高 氢氟酸 过滤 装置 | ||
【主权项】：
超净高纯氢氟酸的过滤装置，包括过滤器本体，其特征在于：所述的过滤器本体底部设有纯水进口和排污出口，所述的排污出口旁为氮气入口，所述的物料进口位于排污出口上方，所述的过滤器本体上方设有尾气出口，物料出口设在过滤器本体的最上方，所述的压力表与物料进口相连，过滤器本体的设有液位管，过滤器本体内部设有可更换的滤芯。
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