[实用新型]超净高纯氢氟酸的过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及超高纯试剂提纯技术，具体涉及超净高纯氢氟酸的过滤装置。

技术背景

超纯净氢氟酸为强酸性清洗、腐蚀剂，可与硝酸、冰醋酸、双氧水及氢氧化铵等配置使用，是电子领域微细加工制作中不可缺少的关键性基础化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蚀刻，还可用作分析试剂盒制备高纯度的含氟化学品，目前，在国内基本上作为刻蚀剂和清洗剂用于微电子行业，其他方面用量较少。

目前，超净高纯氢氟酸的生产工艺一般为：将工业无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的氟化氢气体经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品——超净高纯氢氟酸。因生产电子级氢氟酸使用无水氟化氢原料有大量粉尘残留，严重制约了超净高纯氢氟酸生产时的质量，可采用微过滤方法原理，吸附过滤氟化氢中的颗粒物，因氟化氢是强腐蚀和剧毒性化学品，沸点低19.6℃，按常规过滤器，更换滤芯，易造成安全事故。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种可以对氢氟酸进行过滤的装置，可安全可靠的更换滤芯。

为了解决上述问题，本实用新型提供了超净高纯氢氟酸的过滤装置，包括过滤器本体，其特征在于：所述的过滤器本体底部设有纯水进口和排污出口，所述的排污出口旁为氮气入口，所述的物料进口位于排污出口上方，所述的过滤器本体上方设有尾气出口，物料出口设在过滤器本体的最上方，所述的压力表与物料进口相连，过滤器本体的设有液位管，过滤器本体内部设有可更换的滤芯。

其中：过滤器本体内部材料和滤芯材料为耐腐蚀的聚四氟乙烯（PTFE）耐高温材料。

本实用新型提供了一种可安全更换滤芯的超净高纯氢氟酸的过滤装置，结构简单，维护方便，减少安全事故的发生，同时提高了超净高纯氢氟酸的品质。

附图说明

 图1为本实用新型的结构示意图。

其中：1. 过滤器本体；2.纯水进口；3. 排污出口；4. 氮气入口；5. 物料进口；6. 尾气出口；7. 物料出口；8. 压力表；9. 液位管；10.滤芯。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。

如图1所示，本实用新型提供了超净高纯氢氟酸的过滤装置，包括过滤器本体1，其特征在于：所述的过滤器本体1底部设有纯水进口2和排污出口3，所述的排污出口3旁为氮气入口4，所述的物料进口5位于排污出口3上方，所述的过滤器本体1上方设有尾气出口6，物料出口7设在过滤器本体1的最上方，所述的压力表8与物料进口1相连，过滤器本体1设有液位管9，过滤器本体1内部设有可更换的滤芯10。

过滤器本体内部1材料和滤芯10材料为耐腐蚀的聚四氟乙烯（PTFE）耐高温材料。

超净高纯氢氟酸过滤装置使用时，打开物料进口5和物料出口7，关闭氮气入口4、尾气出口6、纯水进口2和排污出口3。当超净高纯氢氟酸过滤装置使用时间较长，压力表8示数较大时，说明过滤装置内部滤芯10发生了堵塞，需要更换滤芯10。更换滤芯10时，首先停止过滤，关闭物料进口5和物料出口7，然后开启氮气入口4和尾气出口6，充入氮气充分吹净过滤装置中的氟化氢气体；然后关闭氮气入口4和尾气出口6，打开纯水进口2，让纯水充分进入过滤器，吸收冲洗过滤器中残留的氟化氢，然后打开污水出口，回收废水做处理后排放，多次冲洗后，过滤器中的氟化氢吸收处理干净，此时方可打开过滤器，更换其中的滤芯10。

本实用新型的有益效果在于：提供了一种结构简单，维护方便的超净高纯氢氟酸过滤装置，更换滤芯安全可靠，降低了氢氟酸生产的危险性，同时提高了超净高纯氢氟酸的品质。