[实用新型]超净高纯氢氟酸的过滤装置有效
| 申请号： | 201420369068.2 | 申请日： | 2014-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN203976397U | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 吴建良;胡美艳 | 申请（专利权）人： | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215341 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 净高 氢氟酸 过滤 装置 | ||
【权利要求书】：
1.超净高纯氢氟酸的过滤装置，包括过滤器本体，其特征在于：所述的过滤器本体底部设有纯水进口和排污出口，所述的排污出口旁为氮气入口，所述的物料进口位于排污出口上方，所述的过滤器本体上方设有尾气出口，物料出口设在过滤器本体的最上方，所述的压力表与物料进口相连，过滤器本体的设有液位管，过滤器本体内部设有可更换的滤芯。
2.根据权利要求1所述的超净高纯氢氟酸的过滤装置，其特征在于：所述的过滤器本体内部材料为耐腐蚀的聚四氟乙烯（PTFE）耐高温材料。
3.根据权利要求1所述的超净高纯氢氟酸的过滤装置，其特征在于：所述的滤芯材料为耐腐蚀的聚四氟乙烯（PTFE）耐高温材料。
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