[实用新型]氮气吹扫装置

摘要

本实用新型提供了一种氮气吹扫装置，涉及半导体制备领域，通过使用氮气吹扫装置来对CVD工艺中所用的气体分洒盘进行清洗。本实用新型结构简单，可有效提高清洗效率，缩短了机台的保养时间及产品周期，同时提高了机台的利用效率并节约了人力，进而提高经济效益。

主权项

一种氮气吹扫装置，应用于气体分洒盘的保养工艺中，其特征在于，所述氮气吹扫装置包括一可分离式机体，该可分离式机体包括下部机体和上部机体，所述下部机体与所述上部机体活动连接；所述下部机体的内壁设置有支撑块，用于固定所述气体分洒盘；所述上部机体的顶部设置有若干开口，且各所述开口均设置有一气动阀，所述气动阀连接一气泵，用于输送气体至所述氮气吹扫装置；所述上部机体的内壁之间设置有一可拆卸式氮气吹扫盘。