[实用新型]RF回路结构及设备机台有效
| 申请号： | 201420291248.3 | 申请日： | 2014-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203895407U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 曹伟刚;田华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/16 | 分类号： | H01J37/16;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出了一种RF回路结构及设备机台，所述RF回路结构包括：一端固定在反应腔室上盖上的条带，与条带另一端固定相连的固定件，贯穿反应腔室上盖和反应腔室下体，一端与所述固定件相连，另一端与一射频相连的铜芯棒，固定件通过卡盘固定在反应腔室上盖上。将铜芯棒贯穿反应腔室上盖以及反应腔室下体，使铜芯棒与固定件、条带直接相连，避免现有技术中采用插塞与铜芯棒相连出现尖端放电导致接触不良的现象，此外，固定件通过卡盘与反应腔室上盖相连，不再采用螺丝连接，避免螺丝出现折断导致回路接触不良的现象，能够保证RF回路的稳定性，从而提高设备机台的性能。 | ||
| 搜索关键词： | rf 回路 结构 设备 机台 | ||
【主权项】：
一种RF回路结构，其特征在于，所述RF回路结构包括：条带、固定件、卡盘以及铜芯棒，其中，所述条带的一端固定在一反应腔室上盖上，另一端固定在所述固定件上，所述固定件通过所述卡盘固定在所述反应腔室上盖上，所述铜芯棒一端与所述固定件相连，另一端贯穿所述反应腔室上盖和一反应腔室下体后与一射频连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420291248.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
