[实用新型]RF回路结构及设备机台

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种RF回路结构及设备机台。

背景技术

半导体工艺中，在进行反应时设备机台通常需要使用到射频源(Radio Frequency，RF)对反应腔室内的气体等进行解离处理，为了使RF能够作用在反应腔室上，设备机台通常会设置一射频回路(RF Loop)，射频回路通常包括与RF相连的铜芯棒、条带以及插塞。

请参考图1和图2，图1为现有技术中条带和插塞的连接结构示意图，图2为现有技术中条带的俯视图；其中，条带11的一端与固定件10通过螺丝相固定，另一端与反应腔室导电处相连，用于提供射频电源；条带11具有三个螺孔15，便于使用螺丝固定；固定件10内设有弹簧12，用于对条带11施加顶力，便于其与插塞13保持良好接触，其中，插塞13外设有绝缘体14，使其与外界绝缘。

请参考图3，图3为现有技术中射频回路安装在反应腔室的结构示意图，其中，反应腔室包括反应腔室上盖31和反应腔室下体32，其中，所述反应腔室上盖31能够打开，与所述反应腔室下体32分开；所述条带11、固定件10以及插塞13均固定在反应腔室上盖31上，反应腔室下体32内则固定有铜芯棒20，铜芯棒20的一端与射频(图未示出)相连，另一端可以在反应腔室上盖31和反应腔室下体32闭合时与所述插塞13相连。

当反应腔室上盖31和反应腔室下体32闭合时，所述插塞13能够与所述铜芯棒20相连，构成射频回路。然而由于所述插塞13与所述铜芯棒20相连的一端为接触连接，即二者相互接触(如图3虚线框所示)，并且插塞13存在一定的尖端，因此容易出现尖端放电，并且形成缺陷，导致两者接触不良，影响设备机台的正常工作。同时，由于固定件20、条带11均是通过螺丝固定在所述反应腔室上盖31上，由于螺丝较细，容易出现折断，致使固定不牢靠，也会出现RF回路接触不良的情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种RF回路结构及设备机台，能够避免出现接触不良的情况，提高设备机台的性能。

为了实现上述目的，本实用新型提出了一种RF回路结构，所述回路结构包括：条带、固定件以及铜芯棒，其中，所述条带的一端固定在反应腔室上盖上，另一端固定在所述固定件上，所述固定件通过卡盘固定在所述反应腔室上盖上，所述铜芯棒一端与所述固定件相连，另一端贯穿所述反应腔室上盖和反应腔室下体后与一射频连接。

可选的，在所述的RF回路结构中，还包括设置于所述固定件内部的弹簧，所述弹簧顶紧所述条带使其与铜芯棒保持接触。

可选的，在所述的RF回路结构中，还包括多个卡位部件，所述固定件通过所述多个卡位部件与所述卡盘相固定。

可选的，在所述的RF回路结构中，所述卡位部件一部分固定在所述固定件上，另一部分固定在所述卡盘上。

可选的，在所述的RF回路结构中，所述卡位部件为6个，其中3个固定在所述固定件上，另外3个固定在所述卡盘上。

可选的，在所述的RF回路结构中，还包括设置于所述铜芯棒外侧的绝缘体，所述绝缘体包围所述铜芯棒。

本实用新型还提出了一种设备机台，包括一反应腔室以及设置于所述反应腔室外的射频，所述反应腔室包括反应腔室上盖和反应腔室下体，还包括RF回路结构，所述RF回路结构一端与所述反应腔室上盖相连，另一端与所述射频相连。

可选的，在所述的设备机台中，所述RF回路结构与射频相连的一端设有绝缘固定部件。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果主要体现在：将铜芯棒贯穿反应腔室上盖以及反应腔室下体，使铜芯棒与固定件、条带直接相连，避免现有技术中采用插塞与铜芯棒相连出现尖端放电导致接触不良的现象，此外，固定件通过卡盘与反应腔室上盖相连，不再采用螺丝连接，避免螺丝出现折断导致回路接触不良的现象，能够保证RF回路的稳定性，从而提高设备机台的性能。

附图说明

图1为现有技术中条带和插塞的连接结构示意图；

图2为现有技术中条带的俯视图；

图3为现有技术中射频回路安装在反应腔室的结构示意图；

图4为本实用新型一实施例中射频回路安装在反应腔室的结构示意图；

图5为本实用新型一实施例中固定件和卡盘的俯视结构示意图。

具体实施方式