[实用新型]一种新型湿法卸片流水板有效
| 申请号： | 201420268766.3 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN203938186U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 高烨;牛海涛;赵文龙;胡晓亮;邵奇 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G51/01 | 分类号： | B65G51/01 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种新型湿法卸片流水板，适用于单晶硅抛光片生产技术领域。本实用新型所述的流水板主要由进水底板（1）、出水板（2）构成；进水底板（1）上的底板水路（9）由四条竖向水路和两条横向水路组成，使带有一定水压的纯水快速、均衡充满底板水路（9）流入出水板（2）；出水板（2）上设有单排横向出水孔（3），出水板进水孔（10）与出水孔（3）通过连接水路（11）连接，使出水板（2）表面的水膜均匀稳定，硅片定位板（4）通过定位板安插轴（12）安插到相应硅片定位板安插孔（5）内，防止硅片在流水板表面滑动左右偏移。本实用新型加工工艺简单，使用过程中表面水膜均匀、稳定，硅片在下滑过程中不会发生左右偏移，杜绝了流水板表面对硅片背面及片盒对硅片表面擦伤的情况出现，大大提高了硅片的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 湿法 流水 | ||
【主权项】：
一种新型湿法卸片流水板，其特征是：所述的一种新型湿法卸片流水板主要是由进水底板（1）、出水板（2）构成；其中进水底板（1）与出水板（2）用胶粘合为一体，用螺栓通过安装孔（6）安装在单晶硅抛光片湿法卸片台上，进水底板（1）上设置有安装孔（6）、底板进水孔（8），底板水路（9）；底板水路（9）由四条竖向水路、两条横向水路组成；出水板（2）上设置有单排横向出水孔（3）、硅片定位板（4）、硅片定位板安插孔（5）、安装孔（6）、硅片感应器安装孔（7）；出水板进水孔（10）与出水孔（3）之间有一条直径尺寸为1mm的圆柱型连接水路（11），硅片定位板（4）通过定位板安插轴（12）安插在硅片定位板安插孔（5）内。
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