[实用新型]一种新型湿法卸片流水板有效
| 申请号： | 201420268766.3 | 申请日： | 2014-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN203938186U | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 高烨;牛海涛;赵文龙;胡晓亮;邵奇 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | B65G51/01 | 分类号： | B65G51/01 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 湿法 流水 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型湿法卸片流水板，其特征是：所述的一种新型湿法卸片流水板主要是由进水底板（1）、出水板（2）构成；其中进水底板（1）与出水板（2）用胶粘合为一体，用螺栓通过安装孔（6）安装在单晶硅抛光片湿法卸片台上，进水底板（1）上设置有安装孔（6）、底板进水孔（8），底板水路（9）；底板水路（9）由四条竖向水路、两条横向水路组成；出水板（2）上设置有单排横向出水孔（3）、硅片定位板（4）、硅片定位板安插孔（5）、安装孔（6）、硅片感应器安装孔（7）；出水板进水孔（10）与出水孔（3）之间有一条直径尺寸为1mm的圆柱型连接水路（11），硅片定位板（4）通过定位板安插轴（12）安插在硅片定位板安插孔（5）内。
2.根据权利要求1所述的一种新型湿法卸片流水板，其特征是：出水板进水孔（10）、出水孔（3）的上部为圆柱型，圆柱型直径尺寸为3mm，深度尺寸为1mm，下部为120o的锥型。
3.根据权利要求1所述的一种新型湿法卸片流水板，其特征是：出水板（2）上的硅片定位板（4）安插在硅片定位板安插孔（5）内，硅片定位板安插孔（5）在出水板（2）表面底部两侧各有3个。
4.根据权利要求1所述的一种新型湿法卸片流水板，其特征是：硅片定位板（4）底部有定位板安插轴（12）。
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