[实用新型]一种新型湿法卸片流水板

说明书

技术领域

本实用新型属于单晶硅抛光片生产技术领域，主要涉及一种新型湿法卸片流水板。

背景技术

目前正在使用的单晶硅抛光片湿法卸片台流水板主要有进水底板、出水板构成，进水底板上有底板进水孔和底板水路，能为出水板提供具有一定压力的纯水，出水板上设计加工有单排横向圆柱直通型出水孔、两排竖向圆柱直通型出水孔、安装孔、硅片感应传感器安装孔。正常使用时，纯水由底板进水孔进入，顺着底板水路流入出水板，从出水板出水孔流出，在出水板表面形成一层水膜，当单晶硅抛光片从载体板上卸到流水板表面时，单晶硅抛光片可以在流水板表面水膜浮力的作用下顺畅下滑进入流水板下方的片盒中，完成对单晶硅抛光片的收集工作。硅片感应器安装在硅片感应器安装孔中控制卸到片盒中的硅片数量；由于水膜的浮力，不仅可以使硅片顺畅的滑入片盒中，而且有效避免了流水板表面与硅片背面之间的磨擦而产生废品的情况出现。但是现有的流水板存在以下缺点：1.由于进水底板的底板水路最多有两条竖向水路，易造成各个出水板出水孔的水压分配不均，距离底板竖向水路近的出水孔出现水柱喷射现象，而距离底板竖向水路远的出水孔没有水流流出，导致流水板表面不能形成均匀覆盖的水膜，不仅硅片不能顺畅滑入片盒而且出现流水板表面与硅片背面摩擦造成硅片背面擦伤的情况；2.出水板表面既有单排横向出水孔又有两排竖向出水孔，出水孔数量过多，不仅增加了出水孔截面与硅片背面摩擦的机率，还增加了底板水路均衡各个出水孔水压的难度，同时由于出水板上的出水孔为圆柱直通型，对底板水路提供的水流没有缓冲作用，出水孔易出现水柱喷射现象；3.没有针对不同尺寸硅片的定位导向装置，对硅片在流水板表面下滑过程中出现的偏移不能有效阻挡，容易出现硅片不能准确滑入片盒中而造成片盒对硅片表面擦伤的情况。

实用新型内容

鉴于现有单晶硅抛光片湿法卸片流水板存在的不足，本实用新型提供一种新型湿法卸片流水板，该流水板增加了底板水路竖向水路数量，减少了出水板上出水孔数量，出水板进水孔和出水孔设计为锥形孔并增加连接水路。这些设计能使底板水路中各个位置的水压均衡，能向各个出水板进水孔提供压力一致的纯水，出水板上出水孔不会出现水柱喷射现象且出水大小一致，易在流水板表面形成均匀水膜，降低了出水孔截面摩擦硅片背面的机率。在出水板上增加硅片定位板，能对单晶硅抛光片在流水板表面上的下滑过程进行定位导向控制，防止硅片在进入片盒前出现位置偏移，使硅片更加顺畅的滑入片盒中，避免了流水板表面对硅片背面及片盒对硅片表面擦伤的情况出现，提高了单晶硅抛光片的成品率。

为实现上述发明目的，本实用新型所采用的具体技术方案是：一种新型湿法卸片流水板，主要是由进水底板、出水板构成，其中进水底板与出水板用胶粘合成一体，用螺栓通过安装孔安装到单晶硅抛光片湿法卸片台上。进水底板上设置有安装孔、底板进水孔、底板水路；底板水路是由四条竖向水路和两条横向水路组成，纯水由底板进水孔流入，通过底板水路向出水板提供压力一致的纯水；出水板上分别设置有单排横向出水孔、硅片定位板、硅片定位板安插孔、安装孔、硅片感应器安装孔；出水板进水孔、出水孔之间有一条圆柱型连接水路，圆柱型连接水路的尺寸直径为1mm；出水板上设置硅片定位板，硅片定位板通过定位板安插轴安插在硅片定位板安插孔内。所述的一种新型湿法卸片流水板，其中出水板进水孔、出水孔的上部是直径尺寸为3mm，深度尺寸为1mm的圆柱型，下部为120o的锥型，两孔的中心间距为10mm；所述的一种新型湿法卸片流水板，其中硅片定位板安插孔在出水板表面底部两侧各有3个。

本实用新型所述的一种新型湿法卸片流水板，设计结构简单，各个出水口水压均衡稳定，出水水膜均匀，硅片下滑过程中在硅片定位板的导向下不会偏移，能顺畅滑入片盒中，同时流水板表面、片盒不会对硅片表面造成损伤，明显提高了产品成品率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型出水板结构示意图；

图3为本实用新型的进水底板结构示意图；

图4为本实用新型出水板进水孔、出水孔及连接水路剖视图；

图5为硅片定位板结构示意图。

图中：1、进水底板、2、出水板，3、出水孔，4、硅片定位板，5、硅片定位板安插孔，6、安装孔，7、硅片感应器安装孔，8、底板进水孔，9、底板水路，10、出水板进水孔，11、连接水路，12、定位板安插轴。

具体实施方式

下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式如下：

如图1、图2、图3、图4、图5所示，本实用新型所述的一种新型湿法卸片流水板，主要由进水底板（1）、出水板（2）构成，其中进水底板（1）和出水板（2）用胶粘合成一体，用螺栓通过安装孔（6）安装到单晶硅抛光片湿法卸片台上；进水底板（1）上设置有安装孔（6）、底板进水孔（8）、底板水路（9）。底板水路（9）由四条竖向水路和两条横向水路组成；出水板（2）上分别设置有单排横向出水孔（3）、硅片定位板（4）、硅片定位板安插孔（5）、安装孔（6）和用于控制卸到片盒中硅片数量的硅片感应器安装孔（7）。出水板（2）上的出水板进水孔（10）与出水孔（3）之间连接一条直径为1mm的圆柱型连接水路（11），出水板进水孔（10）和出水孔（3）的上部为圆柱型，圆柱型的直径尺寸为3mm，深度尺寸为1mm，下部为120o的锥型；硅片定位板（4）根据硅片的直径尺寸大小通过底部的定位板安插轴（12）安插到出水板（2）相应的的硅片定位板安插孔（5）内。工作时，纯水通过底板进水孔（8）和底板水路（9）流入出水板（2）的进水孔（10），再通过出水板（2）的连接水路（11）、出水孔（3）到达出水板（2）表面，在出水板（2）表面形成更加均匀、稳定水膜，安全运载硅片进入硅片盒。