[实用新型]一种干燥硅片用异丙醇干燥装置

摘要

一种干燥硅片用异丙醇干燥装置，适用于半导体材料生产技术领域。清洗后的硅片被机械吊臂吊放到干燥腔体的石英缸（1）底部，蒸气腔（4）产生异丙醇蒸气，通过管路输送到石英缸（1）内，经双层喷管（3）喷射出高度雾化的异丙醇蒸气，利用异丙醇低表面张力的特性，取代硅片表面的水膜，然后再把氮气加热器（13）加热的氮气通过双层喷管（3）喷射，对硅片表面的异丙醇进行干燥，最终得到完全干燥的硅片。本实用新型加工工艺简单，安装操作方便，安全性能好，可有效解决现有异丙醇干燥器易造成硅片干燥不良、部分水迹残留在硅片表面的问题，提高了产品的合格率和工作效率。

主权项

一种干燥硅片用异丙醇干燥装置，其特征是：所述的干燥硅片用异丙醇干燥装置包括由石英缸（1）、石英缸上盖（2）、双层喷管（3）组成的干燥腔体和由蒸气腔（4）、异丙醇加热器（5）、液位传感器（6）、氮气排放阀（7）、异丙醇排放阀（8）、压力表（9）、异丙醇蒸气供应阀（10）、三通阀（11）、异丙醇供应阀（12）、氮气加热器（13）组成的蒸气发生腔体和废液气收集腔（14）构成；其中两个双层喷管（3）分别安装在石英缸（1）内上部两侧，双层喷管（3）由一个细石英喷管和一个粗石英喷管同轴套装在一起，双层喷管（3）的内管和外管可旋转调整相互之间的角度；双层喷管（3）的前端套有带密封圈的四氟帽，后端通过管路与异丙醇供应阀（12）和三通阀（11）相连；石英缸上盖（2）可沿导轨滑动到石英缸（1）的上方；石英缸（1）底部中心位置装有一根与废液气收集腔（14）相连接的管路；蒸气发生腔体的蒸气腔（4）是一个密封的加热容器，蒸气腔（4）外壁一侧装有液位传感器（6）和分别装有与异丙醇供应阀（12）及与氮气加热器连接的管路，另一侧通过装有氮气排放阀（7）和异丙醇排放阀（8）的管路分别与废液气收集腔（14）连通，压力表（9）装在氮气排放阀（7）管路的上方；三通阀（11）装在氮气加热器（13）和管路上方，异丙醇加热器（5）安装在蒸气腔（4）的底部；废液气收集腔（14）设置在异丙醇干燥装置的下方位置。