[实用新型]一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构有效
| 申请号： | 201420251657.0 | 申请日： | 2014-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN203866406U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张中伟;曹立勇;李阳;张鑫 | 申请（专利权）人： | 中国东方电气集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 张新 |
| 地址： | 610036 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构，包括进气管、出气管、进气挡板和出气挡板，所述进气挡板固定于石英管内壁的下端，进气挡板位于石英舟和进气口之间，进气管位于进气挡板和石英管内壁的上端之间，所述出气挡板固定于石英舟靠近炉门端的末端，出气管位于出气挡板和石英管内壁的下端之间；本实用新型可有效解决反应炉中反应气扩散不均匀导致大量废品的问题，通过在硼扩散炉中添加进气侧挡板和出气侧挡板，引导反应气均匀扩散到每一片硅片表面发生反应；这种方法大大增加了产品合格率，对高效、低成本太阳能电池的制备有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 均匀 反应 挡板 结构 | ||
【主权项】：
一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构，其特征在于：包括进气管（5）、出气管（4）、进气挡板（7）和出气挡板（8），所述进气挡板（7）固定于石英管（1）内壁的下端，进气挡板（7）位于石英舟（2）和进气口之间，进气管（5）位于进气挡板（7）和石英管（1）内壁的上端之间，所述出气挡板（8）固定于石英舟（2）靠近炉门端的末端，出气管（4）位于出气挡板（8）和石英管（1）内壁的下端之间。
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