[实用新型]一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构有效
| 申请号： | 201420251657.0 | 申请日： | 2014-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN203866406U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 张中伟;曹立勇;李阳;张鑫 | 申请（专利权）人： | 中国东方电气集团有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 张新 |
| 地址： | 610036 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 均匀 反应 挡板 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构，其特征在于：包括进气管（5）、出气管（4）、进气挡板（7）和出气挡板（8），所述进气挡板（7）固定于石英管（1）内壁的下端，进气挡板（7）位于石英舟（2）和进气口之间，进气管（5）位于进气挡板（7）和石英管（1）内壁的上端之间，所述出气挡板（8）固定于石英舟（2）靠近炉门端的末端，出气管（4）位于出气挡板（8）和石英管（1）内壁的下端之间。
2.根据权利要求1所述的一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构，其特征在于：所述进气管（5）穿过硼扩散炉延伸至进气挡板（7）和石英管（1）内壁的上端之间。
3.根据权利要求1所述的一种硼扩散炉均匀扩散反应气的挡板结构，其特征在于：所述出气管（4）进气的一端位于炉门和出气挡板（8）之间，出气管（4）沿石英舟（2）底部延伸穿过进气挡板（7）连接在硼扩散炉的主抽排上。
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