[实用新型]压力传感器有效
申请号: | 201420249553.6 | 申请日: | 2014-05-15 |
公开(公告)号: | CN204064535U | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 袁海骏;任伟;赵文建;杨德志 | 申请(专利权)人: | 上海舜宇海逸光电技术有限公司 |
主分类号: | G01L7/02 | 分类号: | G01L7/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴贵明;张永明 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型提供一种压力传感器。该压力传感器包括:压感单元感应作用在压感单元上的压力并产生形变,具有能反射或散射扫描光的测量面;光检测单元包括光发射器和基准光反射面,光发射器向压感单元发射频率周期性变化的扫描光,基准光反射面位于光发射器和压感单元之间,基准光反射面将光发射器发出的扫描光部分反射并耦合回光纤形成基准光,测量面将未被基准光反射面反射的扫描光反射或散射,反射或散射光耦合回光纤形成测量光,基准光和测量光之间发生干涉形成干涉光;光电处理单元接收干涉光并根据干涉光计算出压感单元的测量面与基准光反射面之间的距离变化量,根据距离变化量计算出压感单元上作用的压力。通过该压力传感器能够精确测量。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种压力传感器,其特征在于,包括: 压感单元(10),所述压感单元(10)感应作用在所述压感单元(10)上的压力并产生形变,且具有能反射或散射扫描光的测量面(121); 光检测单元,所述光检测单元包括光发射器和基准光反射面,所述光发射器向所述压感单元(10)发射频率周期性变化的所述扫描光,所述基准光反射面位于所述光发射器和所述压感单元(10)之间,所述基准光反射面将所述光发射器发出的扫描光部分反射并耦合回光纤形成基准光,所述压感单元(10)的所述测量面(121)将未被所述基准光反射面反射的扫描光反射或散射,反射或散射光耦合回光纤形成测量光,所述基准光和所述测量光之间发生干涉形成干涉光; 光电处理单元(20),所述光电处理单元(20)接收所述干涉光并根据所述干涉光计算出所述压感单元(10)的所述测量面(121)与所述基准光反射面之间的距离变化量,根据所述距离变化量计算出所述压感单元(10)上作用的压力。
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