[实用新型]一种真空喷涂旋转靶材的行走机构有效
| 申请号： | 201420243649.1 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN203862461U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 罗建冬 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，该行走机构位于真空靶材喷涂罐体内并固定于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑轨，所述滑轨固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材卷筒的靶材支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。本实用新型增加行走机构的平稳性、降低连接喷枪电路和冷却水路的异常发生率，从而提高旋转靶材的喷涂效率，降低靶材喷涂成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 喷涂 旋转 行走 机构 | ||
【主权项】：
一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：该行走机构位于真空靶材喷涂罐体内并固定于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑轨，所述滑轨固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材卷筒的靶材支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。
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