[实用新型]一种真空喷涂旋转靶材的行走机构有效
| 申请号： | 201420243649.1 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN203862461U | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 罗建冬 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空 喷涂 旋转 行走 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：该行走机构位于真空靶材喷涂罐体内并固定于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑轨，所述滑轨固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材卷筒的靶材支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。
2.根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述滑轨为两个平行设置的圆柱滑轨，每根滑轨下方均设置有滑轨支柱，形成滑轨支撑结构。
3.根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述移动车包括车架、靶材支架及滚轮，所述滚轮设置于车架下方并分别与两圆柱滑轨配合形成滑动机构，而靶材支架上端呈弧形并固定于车架中央。
4.根据权利要求3所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述滚轮为表面凹陷滚轮。
5.根据权利要求3所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述车架一侧设置有定位板，该定位板下方设置有齿排。
6.根据权利要求1所述的一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其特征在于：所述行走机构还包括伺服电机，该伺服电机穿过罐体侧壁伸入至罐体的喷涂腔内，该伺服电机的输出杆的输出端固定有齿轮，该齿轮与齿排相互啮合，形成对移动车移动的动力结构。
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