[实用新型]一种真空喷涂旋转靶材的行走机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，按国际专利分类表(IPC)划分属于靶材喷涂中移动机构技术领域。

背景技术

 在真空喷涂旋转靶材过程中，靶材和喷枪都位于真空罐体内，喷枪和旋转靶材自己必须产生水平相对移动来完成喷涂工艺，而这种水平相对移动就要通过行走机构来实现。现有的行走机构是通过伺服电机带动链条后，链条带动枪架，从而使得喷枪随着进行水平移动。由于在真空喷涂靶材的真空罐体中有大量的粉尘，粉尘会导致链条与齿轮错位，最终导致行走机构运行不稳定甚至停止行走。大大提高了真空喷涂靶材作业的异常率；而且喷枪上有许多连接电路和冷却水路，在喷枪行走过程中，电路和冷却水路也会跟着移动，这样导致了电路和回路异常率大大提高，从而影响旋转靶材的喷涂效率。

由此，本发明人考虑对现有的靶材喷涂中水平移动的机构进行改进，本案由此产生。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，其增加行走机构的平稳性、降低连接喷枪电路和冷却水路的异常发生率，从而提高旋转靶材的喷涂效率，降低靶材喷涂成本。

为达到上述目的，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种真空喷涂旋转靶材的行走机构，该行走机构位于真空靶材喷涂罐体内并固定于罐体内壁上；该行走机构包括固定架及移动车，所述固定架包括固定板及滑轨，所述滑轨固定于固定板上，而固定板固定于罐体内壁上；所述移动车上设置有固定靶材卷筒的靶材支架，该移动车下方设置有与滑轨配合实现移动车滑动的滚轮。

进一步，所述滑轨为两个平行设置的圆柱滑轨，每根滑轨下方均设置有滑轨支柱，形成滑轨支撑结构。

进一步，所述移动车包括车架、靶材支架及滚轮，所述滚轮设置于车架下方并分别与两圆柱滑轨配合形成滑动机构，而靶材支架上端呈弧形并固定于车架中央。

进一步，所述滚轮为表面凹陷滚轮。

进一步，所述车架一侧设置有定位板，该定位板下方设置有齿排。

进一步，所述行走机构还包括伺服电机，该伺服电机穿过罐体侧壁伸入至罐体的喷涂腔内，该伺服电机的输出杆的输出端固定有齿轮，该齿轮与齿排相互啮合，形成对移动车移动的动力结构。

与现有技术相比较，本实用新型的优点：

1、本实用新型是通过齿轮、齿排的传动，不易受真空腔体内大量粉尘的影响而较目前的行走机构稳定性大大提高；

2、本实用新型是针对靶材水平移动，而喷枪相对静止，这样可以喷枪上的电路和冷却水路在真空等离子喷涂过程中不需要移动，大大降低了电路和冷却水路的异常发生率。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

实施例：请参阅图1所示，种真空喷涂旋转靶材的行走机构，该行走机构位于真空靶材喷涂罐体1内并固定于罐体1内壁上；该行走机构包括固定架2、移动车3及伺服电机4。

请参阅图1所示，前述所述固定架2包括固定板21及滑轨22，所述滑轨22固定于固定板21上，而固定板21固定于罐体1内壁上，其中滑轨22为两个平行设置的圆柱滑轨，每根滑轨下方均设置有滑轨支柱221。

请参阅图1所示，前述移动车3包括车架31、靶材支架32及滚轮33，所述滚轮33设置于车架31下方并分别与两圆柱滑轨22配合形成滑动机构，而靶材支架32上端呈弧形并固定于车架31中央并与罐体顶端的喷枪A相对应；车架31一侧设置有定位板5，该定位板5下方设置有齿排51，该齿排51与齿轮6相互啮合，形成对移动车移动方向的定位结构，其中所述滚轮33为表面凹陷滚轮。

请参阅图1所示，前述伺服电机4穿过罐体1侧壁伸入至罐体的喷涂腔内，前述齿轮固6定于伺服电机4的输出杆的输出端上，该齿轮6并与齿排51相互啮合。

请参阅图1所示，本实用新型伺在服电机启动时，通过伺服电机自带齿轮旋转，齿轮6与移动车3上的齿排51相互作用，移动车3由于相互作用力的影响会向前或向后移动，从而带动靶材在真空腔体内水平运动，与喷枪形成水平相对移动，即可满足真空等离子喷涂作业要求。

以上所记载，仅为利用本创作技术内容的实施例，任何熟悉本项技艺者运用本创作所做的修饰、变化，皆属本创作主张的专利范围，而不限于实施例所揭示者。