[实用新型]离子注入检测系统以及离子注入机有效
| 申请号： | 201420241875.6 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN203812850U | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 卢合强;王振辉;王颖芳;高国珺;张明明;张义彩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型揭示了一种离子注入检测系统以及离子注入机，用于检测离子注入机的离子束，所述离子注入机包括扫描盘，所述扫描盘内包括至少一用于放置晶圆的晶圆区，所述离子注入检测系统包括：至少一将所述离子束转化为电流的法拉第杯，该法拉第杯位于所述离子注入机内与扫描盘固定连接，并接受所述离子束；电流测量单元，与所述法拉第杯连接，所述电流测量单元接收所述法拉第杯的电流信号。本实用新型的离子注入检测系统以及离子注入机，可以方便地判断出注入角度，节约成本与时间。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 检测 系统 以及 | ||
【主权项】：
一种离子注入检测系统，用于检测离子注入机的离子束，其特征在于，所述离子注入机包括扫描盘，所述扫描盘内包括至少一用于放置晶圆的晶圆区，所述离子注入检测系统包括：至少一将所述离子束转化为电流的法拉第杯，位于所述离子注入机内并与所述扫描盘同步运动，并接受所述离子束；以及电流测量单元，与所述法拉第杯连接，所述电流测量单元接收所述法拉第杯的电流信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（北京）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420241875.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：焊带浸泡烘干装置
- 下一篇：一种提高大功率电子管排气效果的风环结构
